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采用雷射干涉计方式
雷射检出器
雷射光源置于检出器外部,以光先导入光路差被增光学系,不会因光热而产生漂移。 动态范围和分解能比值600000:1,大型测定件中,埋藏于沟谷之间的微细形状,巨细皆可测定出来。
Z轴分解能/测定范围 0.01μm/ 6mm 0.02μm/12mm X轴分解能/测定范围 0.1μm/ 100mm *粗度、波纹度解析机能 *形状解析机能 ‧要素解析、向量解析 ‧非球面解析 ‧Ball Screw解析 ‧非球面解析‧MASTER比较解析
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