4850 / 4860系列橡胶密封热式质量流量计和控制器
弹性体密封热
响应时间极快，适用于对时间要求严格的工艺
热式质量流量计和控制器的响应速度越快，工艺就越高效，生产效率越高。响应速度是 4800 系列的优势：该产品将基于 MEMS 的热传感器与的 PID 算法相结合以控制阀的响应速度，因此使4800 系列控制器能够根据设定值变化快速匹配实际的流量。本地操作界面 (LOI) 的选项能便于用户对设备进行查看、控制和配置，无需远程二次仪表。
特点
- 流量响应时间（完成时间）<0.75 s
- MEMS 传感器和 PID 算法
- 尺寸小巧，不足常规热式MFC的 一半：1” x 3”x 4” (25 mm x 76 mm x 101 mm)
- 本地操作界面 (LOI) 选项可简化设置和操作；免费提供 LabVIEW VI 下载以进行设备监测和调零
- 通过 RS-232 实现数字化功能
优势
- 非常适用于各种常见的无腐蚀性气体
- 响应速度快，可在切换工艺配方时确保各步骤的迅速完成
- 非常适用于各 OEM：尺寸小巧，集成至紧凑的设备空间内并有助于加快安装
- 可选本地操作界面 (LOI) 是本地指示、设定值控制和设备配置的一站式解决方案；无需借助远程二次仪表
- 拥有多种通信方式，可轻松满足用户需求
应用
- 热处理、切割/焊接等其他热式工艺
- 太阳能/薄膜物理气相沉积 (PVD) 系统
- 用于测量和控制反应物、校准和样品气体流量的分析设备
