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ADEPT 1010 动态二次离子质谱仪

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具体成交价以合同协议为准

公司名称上海德竹芯源科技有限公司
品牌
型号ADEPT 1010
所在地上海
厂商性质其他
更新时间2023/9/22 10:36:50
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公司介绍主营产品

上海德竹芯源科技有限公司是一家专注于功率器件、光电器件、射频器件、量子器件、MEMS传感器领域的设备销售、系统集成、设备国产化的公司。主要为高校、研究所、中试量产线及晶圆FAB厂提供半导体工艺设备、检测设备、封装设备、测试设备。目前公司已成为国内少数几家专业提供半导体工艺、检测、封装、测试整体解决方案的企业。公司主要成员为复旦大学、上海微系统所等半导体相关专业博士，拥有一支经验丰富、技术过硬的团队。能够出色地完成售前售中、售后的服务。目前公司已与众多国际半导体设备企业建立了良好的合作关系(如:EVG、SAWNATEC、SENTECH、PICOSUN、SYSKEY、 Mavemn Panalyrical、PHL-CHINA、TEMPRESS,ROHDE&SCHWARZ、MPI等)，致力于根据用户的科研方向和量产的器件类别提供相应的全套设备选型和工艺整体解决方案。

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产品简介在线询价

动态二次离子质谱仪（D-SIMS）是使用一次离子束（通常是Cs源）轰击样品表面，而产生二次离子，然后用质谱分析仪分析二次离子的质荷比（m/q），从而得知元素在样品中的深度分布，是分析半导体掺杂和离子注入的有力的工具。

ADEPT 1010 动态二次离子质谱仪产品信息

优势

● ULVAC-PHI 新设计的四极杆-二次离子质谱仪 ADEPT 1010，在原有的 PHI 6300 和 PHI 6600 的基础上，改善了离子光学系统，是在一次离子能量低至 250eV 时，仍保持有效的溅射束流的动态二次离子质谱系统（D-SIMS）。

特点

● 大束流低能量离子枪设计，提高了深度分辨率

● 高性能离子光学系统，改善了二次离子传输效率，在提高分析效率的同时又提高了检测灵敏度

● 高精度全自动 5 轴样品操控台

● 不同方向进入检测器的二次离子，均可被高灵敏地收集检测