| 品牌 | 其他品牌 | 适用基片尺寸 | 150毫米直径圆片/5英寸方片 |
|---|---|---|---|
| 旋转转速范围 | 100~12000RPM | 旋转加速度 | 12000RPM/S |
| 转速精度 | 小于0.2rpm | 外壳材质 | NPP(天然聚丙烯） |
一、Laurell 650匀胶机产品特点:
采用NPP外壳材质，PLC控制，速度可调节，在启动之后一般工艺先以低速运转使胶摊开，然后自动变到高速运转，步骤转速及相应的时间分别可调；
二、Laurell 650匀胶机WS-650Mz-23NPPB技术参数：
1、腔体尺寸：9.5英寸 (241 毫米)；
2、Wafer芯片尺寸：10-150mm直径圆片，方片125x125mm；
3、转动速度：100-12,000rpm，
4、旋涂加速度：1-12000rpm/sec（空载）；
5、马达旋涂转速：稳定性能误差<± 1 %；
6、转速调节精度：<0.2rpm，重复性< 0.2rpm；
7、工艺时间设定：1-5999.9 sec/step 0.1精度；
8、匀胶机材质：NPP天然聚丙烯材质，抗腐蚀性和抗化学物性，美观大方；
9、高 精 度 数 码控制器：PLC控制，设置点精度小于0.006%。
10、程序控制：可存储20个程序段，每个程序段可以设置51步不同的速度状态；
11、分辨率：分辨率小于0.5转/分，可重复性小于±0.5转/分，美国国家标准技术研究院（NIST）认证;
12、配套真空泵系统：无 油 型 220~240伏交流，50/60赫兹；
