多气体，多量程，金属密封的50至100slm质量流量控制器
G系列GM100A数字控制质量流量控制器可提供模拟量（0至5 VDC或4至20 mA）或RS485，Profibus™，EtherCAT®，PROFINET或DeviceNet™I / O。数字控制电子器件利用的MKS控制算法，可在整个设备控制范围内对设定点进行快速，可重复的响应。典型的响应时间约为500毫秒。数字校准可在校准气体上产生设定点精度的1％。
· 流速从50到100 slm
· 金属密封，带弹性塞
· 多种数字（ItherCAT，DeviceNet™，Profibus®，PROFINET和RS485）或模拟（0-5 VDC或4-20 mA）I / O
· 标准闭合电导泄漏率小于满量程的1.0％
· 少于750毫秒的建立时间
技术指标
控制范围 | 满量程的2％至100％ | 进气压力系数 | <读数的0.02％/ psi |
满量程流量范围 | 50,000-100,000 sccm（相当于N2） | 典型建立时间 | <750毫秒，典型值在满量程的10％以上 |
流量输入输出信号 | 电压：（0至5 VDC）15针D型公头，9针D型公头，电流：4到20 mA 15针D型公头 | 热身时间 | 30分钟 |
入口压力 | 150磅/平方英寸 | 工作温度 | 10°至50°C |
正常工作压力差 | 50,000-100,000 sccm; 40至80 psid | 储存湿度 | 0至95％相对湿度，无凝结 |
耐压 | 1000磅/平方英寸 | 贮存温度 | -20°至80°C |
爆破压力 | 1500磅/平方英寸 | 外部泄漏完整性 | <1 x 10-10（scc / sec He） |
典型精度 | 20至100％满量程时为设定值的±1％，2至20％满量程时为额定值的±0.2％ | 封闭阀的泄漏完整性 | 在大气压力为40 psig时<满量程的1.0％ |
重复性 | 读数的±0.3％ | 湿材料 | 316L不锈钢VAR，316不锈钢，Elgiloy®，镍 |
解析度 | 满量程的0.1％ | 表面处理 | 平均Ra 10µ英寸 |
零温度系数 | <满量程的0.05％/°C | 重量 | 3磅（1.4公斤） |
跨度温度系数 | <0.08％的读数/°C | 合规 | CE认证 |
特征
多种数字和模拟接口选择
GM100A数字控制MFC带有模拟或数字I / O。数字控制电子器件采用的MKS控制算法，可在整个设备控制范围内对设定点提供快速，可重复的响应。典型的响应时间约为500毫秒。GM100A的模拟和数字I / O可以轻松用来代替1179A MFC的相同I / O类型。所有GM100A均包含Modbus作为可用的辅助I / O（不包括PROFINET®和EtherCAT®）。
标准3英寸占地面积
GM100A利用质量流量控制器使用的标准3英寸占地面积，流量范围为5sccm至50 slm，而无需修改现有的气体管线配置，现在可在100 slm（N2当量）的流量下运行。
金属密封
GM100A金属密封MFC具有10 µ英寸电抛光316L表面光洁度，使该质量流量控制器可用于高纯度应用。
设定值精度的百分比
附带的数字校准可在全量程流量范围的20％至100％的情况下使用N2校准气体提供1％的设定点精度。设定点精度可实现精确的过程控制，相对于相对于满量程的精度。当质量流量为满刻度的2至20％时，精度为满刻度的±0.2％。
嵌入式用户界面
嵌入式用户界面提供了轻松更改设备范围和用户气体的能力，从而减少了库存需求。您还可以监视MFC功能并就地收集性能数据。
温度传感器
经过验证的热传感器设计可提供出色的零稳定性。美国号5461913。
