产品介绍
1 )控制系统由PLC触摸屏构成,故障率低,可靠性强,操作简单,易于维护。
2 )传动方式通过导轨丝杆传动。
3 )主轴使用高速直流无刷电机,带数字显示,精确控制转速。
4)自主设计开发薄膜式的喷胶泵,出胶稳定,自带回吸,保证了定量滴胶,可节省光刻胶用量。
5)效率高,双轴运动方式，上料与下料单独控制,采用双加热盘,降低等待时间。
6)设置灵活,多功能。通过一键设置,可将自动滴胶转换为手动滴胶。
7 )热板控温方式为可控硅，自带超温保护系统,热板均匀性好。热板采用顶针升降,方便硅片烘烤。
技术参数
转速 6000RPM
转速精准度 ≤1-4%RPM
匀胶 滴胶手臂控制 步进马达
滴胶头位置精准 ≤0.2mm
应用范围
该设备为全自动_上下料匀胶设备,主要应用于3-5寸方形晶圆涂胶、烘干,采用标准片盒收放片,自动运行。该设备为单轨道形式，上料、涂胶、烘干、取料。
