产品功能
● 闭合工艺室由 PETP 材质做成（碗和防溅环）
● RCCT 系统（旋转闭合腔体技术 Round-Closed-Chamber-Technology）
● 高动态、直接驱动交流伺服电机
● 旋转速度 6000 rpm +/-1 rpm（可选 10000）
● 可编程电驱动分配手臂，可静态或动态滴胶
● 衬底通过真空固定和安全互锁保护
● 一个滴胶臂，可放置 4 路液体管路
● 液体由玻璃瓶和精密计量泵来供应，包括低液体传感报警
● PP材质的废液桶，带有高液位传感器
上海德竹芯源科技有限公司是一家专注于功率器件、光电器件、射频器件、量子器件、MEMS传感器领域的设备销售、系统集成、设备国产化的公司。主要为高校、研究所、中试量产线及晶圆FAB厂提供半导体工艺设备、检测设备、封装设备、测试设备。目前公司已成为国内少数几家专业提供半导体工艺、检测、封装、测试整体解决方案的企业。公司主要成员为复旦大学、上海微系统所等半导体相关专业博士，拥有一支经验丰富、技术过硬的团队。能够出色地完成售前售中、售后的服务。目前公司已与众多国际半导体设备企业建立了良好的合作关系(如:EVG、SAWNATEC、SENTECH、PICOSUN、SYSKEY、 Mavemn Panalyrical、PHL-CHINA、TEMPRESS,ROHDE&SCHWARZ、MPI等)，致力于根据用户的科研方向和量产的器件类别提供相应的全套设备选型和工艺整体解决方案。
无线电综合测试仪
