程控厌氧洁净烘箱是一台针对集成电路封装生产线芯片上芯固化时存在的污染、发黄、氧化、分层等问题而研制的烘箱，通过强制排风，带走烘烤挥发物，将各种动作、逻辑关系、相关保护、参数设定、数据通信程序化，操作员只是简单的操作即可完成整个工艺段的烘烤，提高了烘烤工艺的可控性，增加了烘烤温度曲线对应产品序号的可追溯性。
程控厌氧洁净烘箱规格书
| 项目 | HTM-2352 | HTM-2381 | |
| 工作腔体 | 工作腔数量 | 1个 | 2个 |
| 工作腔尺寸（宽×深×高，mm） | 690×680×930 | 660×660×550 | |
| 总工作层数 | 4层 | 3+3=6层 | |
| 每层放置料盒数量 | 8个（料盒尺寸280×110×125） | 6个（料盒尺寸280×110×125） | |
| 合计放置料盒数量 | 32个 | 36个 | |
| 温度特性 | 空载平均升温速度 | 7.25℃/min | 8℃/min |
| 空载平均降温速度（200℃-80℃） | 2.5℃/min | 3.7℃/min | |
| 温度均匀性（空载恒温20分钟） | ±2℃ | ||
| 温度均匀性（满载恒温20分钟） | ±5℃ | ||
| 保温及密封性能 | ＞18H | ||
| 保温及密封性能 | ＜（室温+25）℃ | ||
| 工艺特性 | 固化工艺 | 直排风烘烤+循环风烘烤 | |
| 排风方式 | 主动排风 | ||
| 排风量调节开关间歇 | 5S:XS，（X可编程设置） | ||
| 降温方式 | 水冷/风冷 | ||
| 氮气流量 | 80-120L/min | ||
| 氧气含量（通氮15min后） | ＜5000PPM | ||
| 氧含量分析仪 | 选配 | ||
| 安全特性 | 抗氧化安全 | 氮气流量自动监控（选配氧气含量自动监控） | |
| 抗污染安全 | 主动排风、电机故障监控、排风阀状态监控 | ||
| 超温保护1 | 5点温度传感器检测保护 | ||
| 超温保护2 | 数字超温保护模组 | ||
| 超温保护3 | 机械式超温保护模组 | ||
| 安全门锁 | 自动安全门锁 | ||
| 断电保护 | 配备UPS，如果自动运行过程发生断电，设备保持断电前数据，强制通氮气保护，并报警。 | ||
| 信息化配置 | 烘烤参数 | 多个参数预先设定、存储，5段式工艺参数 | |
| 烘烤参数调用 | 条码扫描调用/人工选取调用 | ||
| 烘箱运行数据 | 实时显示 | ||
| 温度时间曲线记录 | 自动记录、长期保存 | ||
| 产品烘烤信息查询 | 可查询，可输出 | ||
| 操作、报警日志记录 | 自动记录、长期保存 | ||
| 部分操作界面 |
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| 烘箱设备管理平台联网 | 选配 | ||
| 与MES系统联网 | 选配 | ||
| 设备动力配置 | 外形尺寸（长×宽×高，mm） | 1430×1050×1826 | 1360×1100×2000 |
| 开门尺寸（长×宽，mm） | 1430X2000 | 1360X1970 | |
| 空载重量 | 520KG | 550KG | |
| 电源 | AC380V、28A、18kw、50Hz | AC380V、32A、21kw、50Hz | |
| 冷却循环水 | 5L/min、2bar、18℃、1/2内螺纹接口 | ||
| 氮气流量 | 150L/min、2bar、99.99%、φ10mm快插 | ||
| 压缩空气 | 5L/min、5bar、φ10mm快插 | ||
| 排风 | 5m/s、1360L/min、φ76mm（可选后部或顶部排风） | ||
| 热量回收效率 | ＞40% | / | |
| 固态挥发物冷凝回收装置 | 配置T型冷凝回收装置 | ||
| 工艺及材质 | 控制系统 | 工业控制计算机 | 工业控制计算机 |
| 烘箱内胆材料 | 镜面304不锈钢 | ||
| 烘箱外壳材料及工艺 | 1.5mm冷轧钢板激光切割、成型焊接 | ||
| 烘箱外壳处理工艺 | 高温喷塑处理 | ||
| 烘箱保温层材料 | 高密度压缩成型片状岩棉 | ||
| 设备外观 |
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