1.用于低载荷测量的的计量型纳米压痕测试仪
的主动表面参比技术：参考参比针尖记录样品的表面位移位置，同时针尖压痕完成测量，以此扣除热漂移和框架刚度影响。
UNHT3 可测量他人估计的结果：两个独立式位移和载荷传感器可真正可靠地控制载荷和压入位移。
量程：从小压入位移（几纳米）到大压入位移（高达 100 μm），从低载荷（10 μN）到高载荷（100 mN）
的主动表面参比技术：参考参比针尖记录样品的表面位移位置，同时针尖压痕完成测量，以此扣除热漂移和框架刚度影响。
UNHT3 可测量他人估计的结果：两个独立式位移和载荷传感器可真正可靠地控制载荷和压入位移。
量程：从小压入位移（几纳米）到大压入位移（高达 100 μm），从低载荷（10 μN）到高载荷（100 mN）
2.市场上稳定性的纳米压痕测试仪
热漂移低至 10 fm/sec，可忽略，无需进行任何修正
的蠕变测试过程的长期稳定性
即使在高载荷下也保持高框架刚度 (>108 N/m)
的 ZerodurÒ 材料没有热膨胀性，因此消除了测量过程中温度变化的影响
热漂移低至 10 fm/sec，可忽略，无需进行任何修正
的蠕变测试过程的长期稳定性
即使在高载荷下也保持高框架刚度 (>108 N/m)
的 ZerodurÒ 材料没有热膨胀性，因此消除了测量过程中温度变化的影响
3.“快速点阵”压痕模式带“模板”模式
采用“快速点阵”压痕模式的快速测量点阵：每小时测试量高达 600 次，符合 ISO14577 仪器化压入测试 (IIT) 要求
全新“模板”模式可用于从自动数据导出并创建更快速灵活的分析
定义自动测量的测量模板和多样品管理
4.高精度的纳米压痕测试仪用于进行准确的表面检测
超灵敏表面接触点判定包含接触刚度判定
测量凝胶和硬质材料
载荷分辨率为 0.003 µN
载荷本底噪音小于 0.05 µN
位移分辨率为 0.003 nm
位移本底噪音小于 0.03 nm
5.内置多功能：多种测试和分析模式
多种测试模式：连续多周期 (CMC)、恒应变速率、用户自定义、高级点阵
动态力学测试 (DMA)包含“正弦”模式
各种不同机械性能的分析：硬度、弹性模量、储能和损耗模量、蠕变、应力 - 应变、赫兹应力分析
环境控制：真空、液体、温度和相对湿度
多种测试模式：连续多周期 (CMC)、恒应变速率、用户自定义、高级点阵
动态力学测试 (DMA)包含“正弦”模式
各种不同机械性能的分析：硬度、弹性模量、储能和损耗模量、蠕变、应力 - 应变、赫兹应力分析
环境控制：真空、液体、温度和相对湿度
典型应用
聚合物的粘弹特性
硬质涂层（PVD、CVD 涂层）：厚度小于 1 微米
聚合物薄膜
晶圆：厚度范围为 10 nm 至 500 nm
光学和玻璃：薄膜和/或表面特性表征
内在骨组织的质量
超纳米金刚石 (UNCD) 薄膜的机械性能
聚合物的粘弹特性
硬质涂层（PVD、CVD 涂层）：厚度小于 1 微米
聚合物薄膜
晶圆：厚度范围为 10 nm 至 500 nm
光学和玻璃：薄膜和/或表面特性表征
内在骨组织的质量
超纳米金刚石 (UNCD) 薄膜的机械性能
