- 全自动流程,薄膜分析更容易
- 高性能系统
- 光斑可视化,微光斑可至25x60 µm
- 功能齐全和灵活
- 智能诊断
Auto SE是一种新型薄膜测量工具。仅需简单的几个按钮,几秒钟内即可自动完成样品测量和分析,并提供完整的薄膜特性分析报告,包括薄膜厚度、光学常数、表面粗糙度和薄膜的不均匀性、反射率或透过率。
Auto SE全自动化设计、一键式操作,功能齐全。配备自动XYZ样品台进行成像分析,自动切换微光斑,多种附件可选,以满足不同的应用需求。
Auto SE借助完整的操作向导,自动检测并诊断问题,对故障进行处理,仪器维护简单
Auto SE是用于快速薄膜测量和器件质量控制理想的解决方案。
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