超纯水是指水质要求在1us以下或在10M欧姆以上的纯水。可广泛用于光学行业、光电行业、生物制药行业、电镀行业及电厂锅炉补给用水。超纯水处理设备采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理等方法来制超纯水，将水中的导电介质几乎去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水处理设备。出水水质电阻率达到15兆以上（即电导率0.06us/cm)，目前，我国电子工业部把工业超纯水水质技术分为五个行业标准，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以区分不同水质。
1、检查失效混床各阀门关紧。
2、再生水箱高水位，混床酸、碱计量箱液位高。
3、一级除盐系统运行正常，压缩空气充足。
4、压力表、流量表、温度表等投入正常运行。
一、树脂分层：
分层是将已经饱和失效（或未再生）的，还呈混合状的混合阳阴离子交换树脂分开，以便再生。一般采用反洗的方法。分层前，可由下而上，通入床内 树脂体积1至2倍的5%的NaOH，再行反洗。反洗流速约为4-10m/h，时间约为20分钟。分层的好坏与树脂的再生效果后的产水水质有直接性的关系， 如果分层未分好树脂的再生周期短，制水量少，出水水质低。
二、配酸碱：
按照相应的比例，分别配置33~36%浓度的HCl及99%浓度的NaOH，供再生时使用，再生时烧碱（氢氧化钠）与水的比例为1：1。
三、同步转型：
同步转型是将已经饱和失效的M+型阳离子交换树脂及 R-型阴离子交换树脂同时转型成H+型阳离子交换树脂及OH-型阴离子交换树脂，使其恢复离子交换功能。同步转型时，给混床内上半部的R-型阴离子交换树 脂通入3—4倍体积5%浓度的NaOH，给混床内下半部的M+型阳离子交换树脂通入3—4倍体积兑水后99%%浓度的HCl。同步转型时间约60分钟。要 点是：调节中排阀，控制中排出水的流量，使液位始终保持在上视镜的中部—在阴离子交换树脂表面上约5cm处。
四、同步置换冲洗：
同步转型完毕，用反渗透淡水继续分别由上、下同步给混床慢速注水，进行置换冲洗阴、阳离子交换树脂，以延长化学反应时间，节约化学再生剂的用量。同步置换冲洗时间约20分钟。
五、同步冲洗：
置换冲洗完毕，转入同步冲洗，洗掉多余的再生剂。用反渗透淡水继续分别由上、下同步给混床注水，进行冲洗阴、阳离子交换树脂。至中排管出水电导率小于混床进水，同时中排管出水PH接近中性。同步冲洗时间约20分钟。
六、气冲混合：
同步冲洗完毕，转入气冲混合。气冲混合时，由混床下部通入氮气或无油压缩空气，搅拌混床内的阴、阳离子交换树脂，使其混合。气冲混合时间约15分钟。
七、注水：
气冲混合完毕，快速上进水；同时打开排气阀排气，至排气阀出水。排水1分钟关排气阀。
八、淋洗：
注水完毕，转入淋洗。淋洗状态与工作状态相似，只是淋洗时，混床的出水电阻率小于额定值时，需排放掉。淋洗时间约30分钟。
九、工作：
淋洗完毕，混床转入工作或备用。
各行业工业生产中对纯水，超纯水的水质要求都不一样，具体如下表供参考：
| 工业企业类型 | 用途 | 水质要求 |
| 五金电镀厂 | 生产镀件冲洗用纯水 | 电导率≤10～20μs/cm |
| 塑胶电镀厂 | 生产镀件冲洗用水 | 电导率≤10μs/cm |
| 五金塑胶镀金银 | 生产镀件冲洗用水 | 电导率≤2μs/cm |
| 线路板厂 | 微蚀冲洗纯水 | 电导率≤10μs/cm |
| 电子、电器厂 | 工业用纯水 | 电阻率≥2MΩ.CM |
| 玻壳生产厂 | 玻壳生产冲洗用水 | 电阻率≥2MΩ.CM |
| 铝合金生产厂 | 镀膜冲洗用纯水 | 电阻率≥2MΩ.CM |
| 精密五金组件厂 | 表面处理冲洗用纯水 | 电阻率≥5MΩ.CM |
| 汽车烤漆厂 | 镀漆表面冲洗用纯水 | 电阻率≥5MΩ.CM |
| 印染厂 | 印染用纯水 | 电阻率≥2MΩ.CM |
| 镍氢电池、电子厂 | 工业用超纯水 | 电阻率≥10MΩ.CM |
| 彩色显示器生产厂 | 显象管冲洗超纯水 | 电阻率≥18MΩ.CM |
| 计算机厂 | 硬盘生产冲洗超纯水 | 电阻率≥18MΩ.CM |
| 实验室用 | 电子级超纯水 | 电阻率≥18MΩ.CM |
| 镀膜玻璃厂 | 镀膜用电子超纯水 | 电阻率≥17～18MΩ.CM |
| 薄浮法玻璃厂 | 镀膜工业用超纯水 | 电阻率≥17MΩ.CM |
| 半导体厂 | 生产用超纯水 | 电阻率≥15MΩ.CM |
| 液晶显示器厂 | LCD冲洗用超纯水 | 电阻率≥12～15MΩ.CM |
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