分析潜力:
- LM大样品室、5轴马达驱动样品台
- 样品室有11个接口,适用于安装EDX、EBSD、EBIC等探头
- YAG 闪烁体探头
- 选配包括了各种探头于可选的配件
- 涡轮分子泵和机械泵同时工作,几分钟可达到仪器操作需要的真空状态
- 在可变真空模式下可观测不导电的样品(LMU型号)
- 可选的样品室减振方式
- 3维Metrology软件提供了三围重构与3维测量功能
VEGA3配置
VEGA3 LMH
高真空式SEM,配备有5轴马达驱动样品台,适用于观测小型导电样品。
VEGA3 LMU
可变真空式SEM,体现了高真空模式和低真空模式的优点。在低真空模式下可以观测非导电样品,不需要喷金。