15兆欧超纯水通常采用的工艺是反渗透加混床，双级反渗透系统加EDI装置，绿健水处理就反渗透加混床的超纯水制取工艺进行阐述，进水为市政自来水或井水（TDS≤400PPM）：
1、工艺流程：
原水箱－原水增压泵－多介质过滤器－活性碳过滤器－软化过滤器－保安过滤器－不锈钢高压泵－反渗透装置－RO纯水箱－混床增压泵－混合离子交换器－超纯水箱－终端微孔过滤器
原水箱采用的是PE塑料水箱，增压泵及高压泵根据用户的需求来选配国内品牌，杭州南方特种泵或丹麦进口格兰富水泵，多介质过滤器也称为机械过滤器，有不锈钢材质，A3碳钢材质，玻璃钢材质。
过滤器内填装两种或多种滤料，填料主要有石英砂，锰砂，SS料，无烟煤等，对去除悬浮物质、泥沙、藻类等有很好的作用，活性碳过滤器主要填装活性碳，过滤器底部会垫一层比较粗地石英砂增大流量。用在纯水系统中也主要分为果壳和椰壳碳，在水处理系统中的作用是去除余氯、吸附异色、异味等。软化水过滤器主要填装软化树脂，降低水中的钙镁离子，其按品牌国内有杭州争光，上海争光，英国漂莱特，美国罗门哈斯，美国陶氏，德国朗盛拜尔等等.
保安过滤器通常都是采用不锈钢材质，能截留预处理中所残留的颗粒物质等，反渗透装置核心部件就是反渗透膜，反渗透膜的好坏直接影响水质，比较常用的有美国陶氏，美国海德能，日本东丽，韩国世韩，国内的有汇通等等，混床是制取超纯水关键的一个工艺，目前反渗透出水电导率只能做2，但是混床可将电导率处理到0.1US以下，即电阻率10兆欧以上。
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