氧化烘箱|イナートオーブン|Inert Gas Ovens
适用范围:
适用于半导体、光电元件、能原材料、通讯产品、机电产品等作无氧化干燥、固化、焊接、退火等高温处理。
封装测试；所有的Lead PKG、BGA、MCM；光刻工艺有机聚合物膜预固化、坚膜；银浆固化、模后固化、电镀退火；基板除潮、晶圆干燥退火等。
产品特点:
1、密封 性设计：内材质用SUS304不锈钢板,整个内桶用氩弧焊满焊,防止空气进入烘箱内，同时节省惰性气体；
2、外部防尘处理：外材质为SPCC钢板经过苏打水清洗后粉体烤漆处理；
3、节 能：保温材质为高密度纤维棉，保温效果好；
4、分层结构设计：内箱层板高低可调，可自由取出；
5、移动 自由：箱体有活动脚轮，可任意推动和固定位置；
6、高效过滤器：安装耐高温高效过滤器，获得洁净的烘烤环境；（选配）
7、内循环风设计：强制送风内循环，确保温度均匀；
8、氮气预热结构设计；
9、冷 系 统：配备冷却系统，可减少等待时间，提高效率；（选配）
10、宽泛的温度范围选择；
技术参数
| 型号 规格参数 | HOC- WYH81 (A3~D) | HOC- WYH180 (A3~D) | HOC- WYH409 (A3~D) | HOC-WYH1361 (A3~D) | ||||||||
| 内箱尺寸(W*D*H)mm | 350*580*400 | 600*600*500 | 640*640*1000 | 990*1100*1250 | ||||||||
| 工作腔数量 | 1 单腔 | 2 双腔 | 4 四腔 | 1 单腔 | 2 双腔 | 4 四腔 | 1 单腔 | 1 单腔 | 2 双腔 | |||
| 外型尺寸(W*D*H)mm | 以实物为准(温度不同外箱尺寸不同) | |||||||||||
| 工作温度范围 | A3:室温～200℃ A2:室温～250℃ B2:室温～350℃ C2:室温～450℃ D:室温～600℃ | |||||||||||
| 氧含量 | I：500ppm； II：200ppm； III：50ppm Ⅳ：20ppm | |||||||||||
| 机器性能 | 控制精度 | 0.1℃ | ||||||||||
| 分布均匀度 | ±2.0℃% | |||||||||||
| 升温 时间 | ℃ | 175 | 250 | |||||||||
| min | 30 | 40 | ||||||||||
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材质 | 外部材质 | SPCC钢板粉体烤漆处理 | ||||||||||
| 内部材质 | SUS﹟304不锈钢数控折弯成型 | |||||||||||
| 隔热材质 | 陶瓷纤维棉 | |||||||||||
| 密封材料 | 采用耐高温硅橡胶 | |||||||||||
| 循环系统 | 多翼式循环风扇 | |||||||||||
| 氮气装置 | 流量计大小可调(L/min) | |||||||||||
| 加热器 | 不锈钢高速加热器 | |||||||||||
| 计时器 | 0.1S～9999H | |||||||||||
| 温控器 | 普通标准型/触摸屏PLC程序控制型 | |||||||||||
| 其它配件 | 隔层置物架（不锈钢冲孔盘2片） | |||||||||||
| 安全装置 | 电路系统负载保护，风机过载保护，温到计时时到断加热，故障警示灯 | |||||||||||
| 选配件 | ①多点测温查看及记录功能；②氧含量分析仪；⑥联网功能；⑦HEPA高效过滤器；⑧快速降温系统 | |||||||||||
| 电源（V） | 220 | AC 3相5线380V 50HZ | ||||||||||
| 注：1、以上数据均在环境温度（QT）25℃.工作室无负载条件下测得 | ||||||||||||
