益处
- 拥有成本更低,预热速度快 50%,节能,低功耗
- 易于集成,各种满刻度、法兰和接口,标配两个设定点
- 轻松一键归零或远程信号归零指令,可调零点偏移
- 诊断端口便于快速服务与维护
- 两年保修服务,的加热概念和真空计保护延长了使用寿命
- 的信号稳定性和可重复性,即使是最严苛的等离子应用,都无需长期执行重新校准
- 合规性和标准:CE、EN、UL、SEMI、RoHS
典型应用
- 蚀刻、CVD、PVD 及其他半导体生产过程
- 化学和腐蚀性真空过程
- 一般薄膜和真空过程
- 作为基准仪器监控测试仪器是否符合国际标准
- 符合传递标准,确保测量可追溯性
规格
类型 | 1000 Torr, 1100 mbar | 500 ... 1 Torr / mbar | 0.5 ... 0.05Torr / mbar | |
---|---|---|---|---|
精度 (1) | % of reading | 0.15 | 0.15 | 0.15 |
温度效应 | ||||
零点 | percent FS/°C | 0.0025 | 0.0025 | 0.005 |
满量程 | % of reading / °C | 0.01 | 0.01 | 0.01 |
压力, | kPa (absolute) | 400 | 260 | 130 |
分辨率 | percent FS | 0.003 | 0.003 | 0.003 |
读数 | percent FS | 0.01 | 0.01 | 0.01 |
建议的读数 | percent FS | 0.05 | 0.05 | 0.05 |
建议的控制压力 | percent FS | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
温度 | ||||
运行(环境) | °C | +10 … +40 | +10 … +40 | +10 … +40 |
在法兰处烘烤 | °C | ≤110 | ≤110 | ≤110 |
贮存 | °C | –20 … +65 | –20 … +65 | –20 … +65 |
电源电压 | +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) | +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) | +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) | |
功耗 | ||||
加热时 | W | ≤12 | ≤12 | ≤12 |
运行温度 | W | ≤8 | ≤8 | ≤8 |
输出信号(模拟) | V (dc) | 0 … +10 | 0 … +10 | 0 … +10 |
反应时间 (2) | ms | 30 | 30 | 130 / 30 (3) |
保护等级 | IP 40 | IP 40 | IP 40 | |
标准 | ||||
CE 合规 | EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS | |
ETL 认证 | UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 | UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 | UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 | |
SEMI 合规 |
CDG045D高精度真空计