MJB4 Mask Aligner
小尺寸基片的研发解决方案
SUSS的MJB4是广受欢迎的手动光刻机MJB3的全新换代产品。操作方便，占地面积小，成为实验室研究和小批量生产的理想设备。作为经济型光刻解决方案，MJB4针对直径达100mm的小尺寸基片工艺确立了一套工业标准。MJB4配有高可靠和高精度的对准系统，同时具备亚微米量级的高分辨率图形转移能力，这些特点都使得MJB4的性能明显优于同类设备。
亮点：
◆ 高分辨率掩模对准光刻，特征尺寸优于0.5微米；
◆ 装配SUSS的单视场显微镜或分视场显微镜，实现快速准确对准；
◆ 针对厚胶工艺进行优化的高分辨光学系统；
◆ 可选配通用光学器件，在不同波长间进行快速切换；
◆ 可通过装配升级套件，实现紫外纳米压印光刻。
MJB4系统可广泛用于MEMS和光电子，例如LED生产。它经过特殊设计，方便处理各种非标准基片、例如混合、高频元件和易碎的III-V族材料，包括砷化镓和磷化铟。而且该设备可通过选配升级套件，实现紫外纳米压印光刻。
Details: Alignment
顶面对准：
在光刻工艺中，只需对准器件晶圆同侧的结构（例如再布线层、微凸点 等），用顶部对准功能将掩模位置标记对准晶圆位置标记。 根据衬底的特性，这可以用存储的晶圆位置数据或者用两个现场照片 、SUSS MicroTec 开发的DirectAlign™ 直接对准技术实现。
我们的客户可以从中得到以下好处：
◆ 掩模对准器的对准精度
◆ 清晰、强大的图像识别功能，即使在对比度不理想的情况下
红外对准：多层晶圆堆叠被应用在许多构造工艺中。 用红外照射可以识别并对准通常埋在层之间的对准标记。
红外光还可以根据这些埋入的标记进行对准。 这需要使用能透过红外线的材料，例如硅、III-V族半导体（如砷化镓）以及临时键合和键合分离工艺中所使用的粘着剂 通过个例研究检查可行性。
为了尽可能扩大红外对准的使用范围，SUSS 掩模对准器可以选配强大的红外光源和高性能摄像系统。
我们的客户可以从中得到以下好处：
◆ 强大的红外光源和高性能摄像系统
上海铂拓能源科技有限公司是一家专业从事实验室设备解决方案、特殊工况用仪器仪表系统解决方案以及*材料应用的科技型企业。 特殊工况仪器仪表：公司目前针对粮储、能源化工等行业提供复杂工况环境下用的测量仪表及解决方案。如俄罗斯利马克高频雷达物位计、伊科菲斯环保电离辐射料位计和密度计、申铄超声波在线浓度仪等。可在高温、超高压力(测量介质温度：2000℃，60bar)、高粉尘、高腐蚀、易结晶、蒸汽、超低介电常数 (介电常数1.2-1.4下依然非常精准)等介质工况下使用。目前已经广泛应用于粮油储仓、石化、钢铁冶金、电厂、水泥等行业储罐物位、介质密度及浓度的在线测量。 实验室平台建设：专业的化工、材料、环保技术团队，可以为研究单位定制实验装置，目前已经与中科院硅酸盐研究所、中科院高等院、航天811所、上海交通大学、上海大学、上海理工大学、同济大学等高校科研院所建立项目合作。代理进口实验室设备，如日本Nanovater纳米分散设备、德国纳博热高温炉、瑞士万通电化学工作站水分仪和电位滴定仪、安捷伦气相色谱仪和气质联用仪、PE珀金埃尔默ICP、麦克比表面仪、HORIBA激光散射粒径分布分析仪、扫描电镜、透射电镜、哈希浊度仪、梅特勒天平及水分仪、英国科尔康气体检测仪、日本理研软磁交直仪、MATS磁性材料测量系统、合肥科晶以及国外品牌的锂电池及燃料电池相关实验室设备等。 *材料：*碳材料；针对新能源汽车行业电池包热管理的需求，提供定制化隔热防火材料及热管理解决方案；提供电子元器件高热传导氮化硅基板及金属陶瓷复合材料。
MJB4 实验室研发用光刻机 产品信息
关键词：显微镜
