半导体质量管控影像测量仪YXCL200
半导体质量管控影像测量仪YXCL200
专注于：高精密全自动3D测量：2D/3D尺寸/形状公差/线面轮廓度/偏差颜色分析/表面粗糙度等
根据客户的需求选配测量硬件平台型号，再搭载测量传感器组(如通过传感器：CCD相机、点光谱、线激光、面结构光等),扫描产品的表面点云信息，再通过强大的视觉系统VisionPower计算出产品3D尺寸，也可通过与零件的CAD模型比对，生成图形化轮廓度报告。基于偏差值的颜色渲染,快速定位不良区域, 掌握整体偏差趋势。支持多种格式的CAD模型导入，自由选择配准方式(最佳拟合/局部最佳拟合/手动对齐/空间自由度限制)，可查看点位轮廓并输出到表格。
YXCL产品集成了几何公差GD&T测量和传统2D/3D尺寸测量，如平面度、圆度、位置度、特征拟合、距离、角度等，强大的数据处理能力与算法，操作简单便捷，自动化检测，消除传统人工误差，为实际生产提供的质量管控。广泛应用于电路板、精密机械加工、汽车、半导体、电子、模具、精密五金、光学加工、医学等行业。
一、技术参数
型号 | YXCL200 |
行程(mm) | 200*200*100mm |
外形尺寸(mm) | 1600*600*1550mm |
仪器重量(kg) | 75kg |
机台承重(kg) | 3kg |
机台结构 | 平台复合移动式，钢架结构，样品不动，机器三轴运动 |
速度(mm/S) | XY轴: Max移动速度300，Max加速度1000 Z轴: Max移动速度100，Max加速度400 |
精度(μm) | Eux,mpe Euy mpe：1.9 + L/200 μm |
Euz,mpe：2.0 + L/250 μm | |
Euxy,mpe：3.0 + L/200 μm | |
光栅尺 | 0.1μm高精度金属光栅 |
电机 | X/Y轴有铁芯高速直线电机； Z1、Z2轴高性能高精度伺服电机 |
运动控制系统 | 自主开发超高脉冲直线电机运动控制系统 |
CCD相机 | CCD1：大于等于2500万像素，1.1英寸测量专用彩色CCD，搭配定倍双远心高清镜头 |
镜头 | 镜头1：定倍双远心高清镜头0.27X，视野47*35mm a. 分辨率高：分辨率1.0μm,支持1英寸高分辨率相机 b. 重复精度高，单视野尺寸测量：重复性小于0.5μm，精度小于1μm c. 高速采集测量，支持不停机飞拍测量 |
光源 | a. 轮廓光：高亮白色平行远心冷光源； b. 表面光：四环四路四色冷光源。 |
光谱共焦位移 传感器 | a. 非接触式光学共焦测量技术，稳定量测各类材质，例如金属/陶瓷/镜面/玻璃等，小型轻量，工作距离适配变倍镜头，量程大； b. 支持点光谱取点及三轴扫描，可取单点及扫描取点测量高度/段差/厚度/平面度/轮廓度等测量等，并可支持3轴联动式不停机点云扫描； c. 点光谱测量传感器：工作距离：33mm；测量范围：0.28 ~ 8mm；测量角度：±18°；测量精度小于0.5μm。 |
计算机 | Intel Core i7以上工控机（ 酷睿四核CPU），16G RAM、500 GB HD 27" 彩色超窄边框IPS 分辨率：1920×1080，Windows 10 （实际配置以出厂为准，不低于以上配置） |
环境要求 | 电源：220V 50/60Hz(3kw) 气源：0.6MP；20L/min 温度：20°C±2°C 1°C/1h 2°C/24h 1°C/m 湿度：40% ~ 80% |
系统特点
1. 测量快稳准
(1) 三轴均采用高精度研磨级静音导轨，直驱高速传动，快稳准，运动速度200mm/s,加速度最大可达5G/s；
(2) 影像测量传感器视野是传统3倍，点光谱支持3轴不停机扫描测量，优于同行3倍的测量速度与精度；
(3) 影像飞拍测量，FLY不停机抓拍，单视野快速算法30个尺寸/S。
2. 复合式多传感器
(1) YXCLPRO版，将传统的CMM+CAV&CT整合到二合一复合型高速检测仪；
(2) 检测时间从3H压缩到30Min，效率提升6倍，成本是传统方案的1/3不到。
3 3D 扫描测量技术
(1) 影像CCD扫描测量尺寸更稳定、准确、快速；
(2) 点光谱三轴扫描测量(段差/平面度/线面轮廓度)；
(3) 线激光/线光谱扫描测量，线轮廓/面轮廓、CAV比对、错漏反判断。
4. 全自动寻边及过滤
(1) 可以克服光照变化、噪声等干扰因素，保证测量结果的准确性；
(2) 能够快速、准确地自动识别图像中物体的边缘，提高测量效率；
(3) 适应不同的测量场景和测量目标，应对各种复杂的测量环境，具有良好的适应性；
(4) 采用了稳定、可靠的边缘检测算法，可以克服图像中的噪声和干扰，保证测量结果的稳定性。
5. 线轮廓/面轮廓度
(1) 一体化轮廓度模块，可快速实现轮廓数据对齐比对、轮廓度值及色阶比对图形输出，直观便捷；
(2) 采用了精密的数学算法和先进的图像处理技术，可以消除误差和干扰因素，保证测量结果的精度。
6. 图形化形状公差
(1) 支持圆度图形化分析、位置度图形化分析以及平面度图形化分析；
