超纯水设备是采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理等方法，将水中的导电介质几乎去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水处理设备。一般是反渗透设备跟离子交换混床或EDI相结合配套使用，离子交换混床是通过离子交换树脂在电解质溶液中进行的，可去除水中的各种阴、阳离子，是目前制取高纯水工艺流程中不可替代的手段。
离子交换器分为阳离子交换器、阴离子交换器等。 当原水通过离子交换柱时，水中的阳离子和水中的阴离子（HCO3-等离子）与交换柱中的阳树脂的H+离子和阴树脂的OH-离子进行交换，从而达到脱盐的目的。阳、阴混柱的不同组合可使水质达到更高的要求。
电去离子(EDI)系统主要是在直流电场的作用下,通过隔板的水中电介质离子发生定向移动，利用交换膜对离子的选择透过作用来对水质进行提纯的一种科学的水处理技术。电渗析器的一对电极之间,通常由阴膜,阳膜和隔板多组交替排列,构成浓室和淡室(即阳离子可透过阳膜,阴离子可透过阴膜).淡室水中阳离子向负极迁移透过阳膜,被浓室中的阴膜截留;水中阴离子向正极方向迁移阴膜,被浓室中的阳膜截留,这样通过淡室的水中离子数逐渐减少,成为淡水,而浓室的水中,由于浓室的阴阳离子不断涌进,电介质离子浓度不断升高,而成为浓水,从而达到淡化,提纯,浓缩或精制的目的。
EDI装置进水指标
系统性能指标
工艺选型推荐
■ 预处理系统
一般包括原水泵、加药装置、石英砂过滤器、活性炭过滤器、精密过滤器、超滤等。其主要作用是降低原水的污染指数（SDI）、余氯，藻类，细菌等其他杂质，达到反渗透的进水要求。预处理系统的设备配置应该根据原水的具体情况而定。
■ 反渗透装置处理系统
主要包括多级高压泵、反渗透膜元件、膜壳（压力容器）、支架等组成。其主要作用是去除水中的杂质，使出水满足使用要求。
■ 反渗透装置后处理系统
是在反渗透不能满足出水要求的情况下增加的配置。主要包括混床、杀菌、EDI等其中的一种或者多种设备。后处理系统能把反渗透的出水水质更好的提高，使之满足使用要求。
■ 反渗透装置清洗系统
主要有清洗水箱、清洗水泵、精密过滤器组成。当反渗透系统受到污染出水指标不能满足要求时，需要对反渗透进行化学清洗使之恢复功效。
■ 反渗透装置电气控制系统
是用来控制整个反渗透系统正常运行的。包括仪表盘、控制盘、各种电器保护、电气控制柜等。
（1）电子、半导体行业：制取电子工业生产如单晶硅半导体集成电路块，显象管，玻壳，液晶显示器等制造工业用纯水、超纯水机。
（2）医药行业用水：制药、制剂工艺用水，医疗血液透析、生化分析、输液等。
（3）锅炉水处理：石油、化工、炼油、火力发电、电力、制取热力、冶金、食品、造纸等行业中锅炉，厂矿企业高、中、低压锅炉给水所需软化水、除盐纯水。
（4）饮料行业：饮用纯净水、蒸馏水、天然水、矿泉水、矿化水、酒类生产白酒勾兑用纯水、啤酒糖化投料用水及纯生啤酒过滤等。
（5）宾馆、楼宇、社区优质供水网络系统及游泳池水质净化。
（6）制取电镀工艺用去离子水、电池(蓄电池)生产工艺的纯水，汽车、家用电器、建材产品表面涂装、清洗纯水，镀膜玻璃用纯水，纺织印染工艺所需的除硬盐水。
（7）石油化工行业：如化工反应冷却、化学药剂、化肥及精细化工、化妆品制造过程用工艺纯水
