SLS系列直线位移台通过一致性设计，以便易于集成到多轴系统中，其安装孔形状与SmarAct旋转位移台和测角仪匹配。当模块化和易于配置是先需求时，SLS位移台是的选择。
| 系列 | SLS-32 | SLS-52 | SLS-92 | ||||
| 型号 | SLS-3232 | SLS-3252 | SLS-3282 | SLS-5252 | SLS-5282 | SLS-9292 | SLS-92152 |
| 行程 | 21mm | 31mm | 51mm | 31mm | 51mm | 63 | 103 |
| 扫描 分辨率 | < 1 nm | ||||||
| 速度 | >20mm/s | ||||||
| 垂直 负载 | 20N | ||||||
| 体积 | 32x32x11mm3 | 32x52x11mm3 | 32x82x11mm3 | 52x52x14mm3 | 52x82x14mm3 | 92x92x17mm3 | 92x152x17mm3 |
| 重量 | 32g | 54g | 87g | 90g | 140g | 339 | 558 |
| 可选闭环传感器S | |||||||
| 传感器 分辨率 | 1nm（MCS2） | ||||||
| 重复 精度 | ±50nm（MCS2） | ||||||
| 可选闭环传感器L | |||||||
| 传感器 分辨率 | 4nm（MCS2） 4nm （HCU） | ||||||
| 重复 精度 | ±100nm（MCS2） ± 1 µm （HCU） | ||||||
