CS系列数字式质量流量控制器

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公司名称郑州科探仪器设备有限公司
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厂商性质生产厂家
更新时间2024/4/24 15:37:47
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郑州科探仪器设备有限公司是集开发、制造、经营为一体的材料设备创新型企业，如今公司的产品已经遍布国内大多数实验室，科探仪器已经成为老师同学和信任的品牌。公司以科技创新为主，服务社会为宗旨，积极设计开发新型材料制备设备，奉献于教育和科学，经过长期的研发和不断地技术积累，拥有热工，制造，控制相关技术项为化学，物理，材料，电子，高分子工程，新材料制备和研发领域的科学研究提供了精良设备。公司通过和院校老师同学强强联合，形成了有效的信息，技术交流平台，为科探仪器了解市场需求提供了强有力的支持！

目前公司已研发生产产品十多个系列几十款产品，产品囊括实验电炉 CVD供气系统等离子清洗机小型离子溅射仪小型蒸镀仪石英管真空封口真空探针台半导体等。主要适用于科研院校及工矿企业在新材料、新能源等领域物理特性及化学特性的研究，广销于各大院校，及材料研究所。

公司与国内高校，科研院所有多层次的合作关系，建有开放实验室，相关领域的教授、工程师、博士参与公司产品的研究和开发。我们秉承公司的发展理念，依靠严谨的技术研发能力，科学合理的生产工艺，精益求精的制造要求，全心全意做好产品质量和服务工作，科探仪器时刻怀着一颗真诚的心期待与您的合作。

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小型溅射仪，小型蒸镀仪，真空试管封口机，真空探针台，等离子清洗机，真空加热腔

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简要描述：CS系列数字式质量流量控制器数字式质量流量控制器.高精度型,快响应型,数字型,低零漂及温漂型,抗电磁干扰

CS系列数字式质量流量控制器产品信息

CS系列数字式质量流量控制器数字式质量流量控制器.高精度型,快响应型,数字型,低零漂及温漂型,抗电磁干扰

CS200A 数字式气体质量流量控制器

产品型号：CS200-A型
产品系列：CS系列数字式质量流量控制器
产品类型：高精度型,快响应型,数字型,低零漂及温漂型,抗电磁干扰

型号	CS200-A
阀类型	常开(流量规格≤30SLM) 或常闭	无
流量规格(N2)	(0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM
准确度	±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S.(＜35% F.S.)
线性	±0.5% F.S.
重复精度	±0.2% F.S.
响应时间	≤ 1sec
工作压差范围	0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.1～0.35MPa 10＜流量规格≤30SLM 0.2～0.45MPa 30＜流量规格≤50SLM	＜0.02 MPa
温度系数	零点: ≤±0.05% F.S/℃; 调节时: ≤±0.1% F.S/℃ 流量规格≤30SLM; 调节时: ≤±0.2% F.S/℃ 流量规格＞30SLM
耐压	3MPa
漏率	1×10-10 Pa·m3 / sec He
密封材料	氟橡胶；
工作环境温度	（5～45）℃
输入信号	数字: RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模拟:(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA	无
输出信号	数字:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模拟:(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA
零漂	在没有零点校正时＜0.6%F.S/年
电源	±8 ～ ±16 VDC (双极)或 +14 ～ +28 VDC (单极)
表面化学成分	常态
表面粗糙度	25 Ra
标准接头形式	双卡套 φ6；双卡套 1/4´´；双卡套 3/8´´；VCR1/4´´阳接头；双卡套φ3；双卡套 1/8´´；VCO 1/4";φ6(内)x1 软管接头; φ5(内)x1.5 软管接头; φ4(内)x1 软管接头;双卡套φ10mm；A 型密封接头;
电源接头形式	D型9 针阳接头；D 型 15 针阳接头；DeviceNet 接头； ProfiBus 接头；模拟接头
重量	1 Kg	0.8Kg

型号	CS200-A
阀类型	常开(流量规格≤30SLM) 或常闭	无
流量规格(N2)	(0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM
准确度	±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S.(＜35% F.S.)
线性	±0.5% F.S.
重复精度	±0.2% F.S.
响应时间	≤ 1sec
工作压差范围	0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.1～0.35MPa 10＜流量规格≤30SLM 0.2～0.45MPa 30＜流量规格≤50SLM	＜0.02 MPa
温度系数	零点: ≤±0.05% F.S/℃; 调节时: ≤±0.1% F.S/℃ 流量规格≤30SLM; 调节时: ≤±0.2% F.S/℃ 流量规格＞30SLM
耐压	3MPa
漏率	1×10-10 Pa·m3 / sec He
密封材料	氟橡胶；
工作环境温度	（5～45）℃
输入信号	数字: RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模拟:(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA	无
输出信号	数字:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模拟:(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA
零漂	在没有零点校正时＜0.6%F.S/年
电源	±8 ～ ±16 VDC (双极)或 +14 ～ +28 VDC (单极)
表面化学成分	常态
表面粗糙度	25 Ra
标准接头形式	双卡套 φ6；双卡套 1/4´´；双卡套 3/8´´；VCR1/4´´阳接头；双卡套φ3；双卡套 1/8´´；VCO 1/4";φ6(内)x1 软管接头; φ5(内)x1.5 软管接头; φ4(内)x1 软管接头;双卡套φ10mm；A 型密封接头;
电源接头形式	D型9 针阳接头；D 型 15 针阳接头；DeviceNet 接头； ProfiBus 接头；模拟接头
重量	1 Kg	0.8Kg