高温超纳米压痕测试仪 (UNHT³ HTV)
高温纳米压痕测试仪是测量小载荷下纳米尺度机械性能的测试系统，温度在 800 °C 以下的薄膜和涂层的硬度和弹性模量。 UNHT 技术与的加热功能结合，可提供在任何温度下的高稳定性测量解决方案。
关键功能
新一代的高温纳米压痕测试仪
- 环境条件下热漂移 (< 0.5="" nm/min)="" 和整个温度范围内热漂移="">< 3="">
- 载荷框架刚度 (>>106 N/m) 和框架柔度 (<0.1>
- 高真空系统具有 5 轴磁悬浮涡轮泵和缓冲系统，允许在测量期间关闭初级泵，使振动降至。
- 的加热控制系统（3 项待批），采用3 个红外 (IR) 加热器分别用于给压痕针尖、参比针尖和样品进行加热，以及 4 个热电偶用于将样品表面温度控制到 变化在0.1°C 内。
- 符合 ISO 14577 和 ASTM E2546 国际标准
技术规格
| 载荷 | |
|---|---|
| 载荷 | 100 mN |
| 载荷分辨率 | 6 nN |
| 本底噪音 | 0.5 [rms] [μN]* |
| 位移 | |
| 位移 | 100 μm |
| 位移分辨率 | 0.003 nm |
| 本底噪音 | 0.15 [rms] [nm]* |
| 极限真空度 | 10⁷ mBar |
| 温度 | 800 °C |
