产品介绍
CNI v3.0是桌面压印工具，易于复制微米级结构，可用的腔室可支持多到100毫米晶圆或200毫米晶圆。CNI是一种用于压印和热压花的桌面尺寸工具。它允许微结构从母版复制到基底。CNI工具可以执行热复制和紫外线复制。CNI工具是压印的良好起点，但它也支持成熟和的开发工作。CNI工具操作简单，功能强大，便于非标准流程和新实验。
性能特点
- 台式压印工具
- UV NIL@365 nm（或405 nm–自定义选项）
- 压印压力从0.3bar到11bar
- 真空压印（1mbar）
- 坚固且易于使用
- 手动装载和卸载印章和基板
- 自动过程控制
- 易于操作的软件界面
技术参数
- 产地：丹麦
- 压力：压印压力为0.3-11bar过压
- 温度：
- 200ºC，可控制+/-1ºC
- 250ºC，带高温选项
- 紫外线照射:波长为365和/或405 nm的紫外光，在120 mm的腔室中光功率为12 W，在210 mm的腔室约为100 mW/cm2或57 W，约为165 mW/cm2。
- 真空：压印室可以抽空至约1mbar的压力
- 是否进口：是
- 应用：广泛
- 封装：厂家制定
- 性能：良好
- 可靠性：高
产品参数
