设备的主要功能
可测量各种精密机械零件的素线轮廓形状参数，角度处理（坐标角度，与Z坐标的夹角，两直线夹角）、圆处理（圆弧半径，圆心到圆心距离，圆心到直线距离，交点到圆心的距离，直线到切点的距离）、点线处理（两直线交点，交点到直线距离，交点与交点距离，交点到圆心的距离）、直线度、凸度、对数曲线、槽深、槽宽、沟边距、沟心距、轮廓度、倾斜度、垂直距离、水平距离等形状参数。
仪器测量原理
由高精密气浮直线运动导轨,建立X坐标的高精密测量基准,Z坐标由电感传感器构成,可以测量各种精密机械零件的素线形状.本仪器由于基准直线运动采用精密气浮导轨,故移动精度高、稳定性好、寿命长,而且运动灵活性好、直线性好、操作方便.运动距离采用进口光栅尺计量,X轴的尺寸坐标精确,数据采集及数据处理均采用计算机,故测试精度高、功能多,又可方便打印和存档,为用户带来很大的方便。
设备的主要技术参数
X轴导轨移动直线度：≤0.3μm/60mm
示值误差1（L=X轴导轨移动距离）：±（1.5+1.5L/100）μm
示值误差2（H=Z轴方向测量高度）：±（1.2+13H/100）μm
可测范围：X轴方向100mm；
Z轴方向（工件较大高度）300mm
传感器量程：10mm(可增加到20mm)
分辨率/量程：1/65536
进口英国RENISHAW公司光栅尺：精度±2μm/100mm；分辨率1μm
数据采样：精密直光栅触发采样1μm/点
综合调整台调整范围：Y轴方向10mm，X轴水平可调±25度，Z轴回轴可调360度
工作压力：0.35～0.43Mpa
气源压力：0.45～0.80Mpa
气源流量：≥0.2 m³/min
电源：AC 220V±10% 50Hz
环境要求：温度：10～30℃；相对湿度：＜85%
主机重量：约200Kg
主机尺寸：900mm×490mm×1400mm
