RHESCA CSR-5000超薄膜附着强度测试仪概要： |
基于JIS R-3255标准，以MICRO SCRATCH法评价光学薄膜、半导体扩散工程、表面改质以及记忆媒体等各种用途的薄膜与基材，或薄膜与界面之间的密着力（附着强度）的超薄膜附着强度测试仪。为成膜研究与测试所的测试设备。
CSR-5000超薄膜附着强度测试仪特点： |
CSR-5000采用高感度的能够检测出薄膜破坏的MICRO SCRATCH法，测试纳米级别的薄膜的附着强度 |
可测量膜厚μm以下的超薄膜的密着强度 |
加热环境下评价可能 |
镜片等曲面测量可能 |
可以进行以特定荷重来评价的特定负荷测试 |
测试部位的设定以及测试后的划伤观察等简单易行 |
测试不需要花费很多时间(1次测试约1～2分钟) |
CSR-5000超薄膜附着强度测试仪的规格参数 |
荷重检出机构 | 荷重印加范围 | 1mN ～1500mN |
荷重分解能 | 0.3mN | |
10RPM±5％ -注 | 300%FS | |
剥离检出（垂直方向） | 检出信号 | 加速度信号 |
频率范围 | 20Hz ～10kHz | |
摩擦力检出（水平方向） | 检出信号 | 检出信号 |
频率范围 | 20Hz ～10kHz | |
传感器励振机构 | 励振频率 | 45H |
励振振幅 | 0・5・10・20・40・50・80・ 100μm | |
探针 | 触针形状 | Φ1.6×6.5mm |
材质 / 形状 | 金刚石R 5・10・15・25・50・ 100μm | |
材质 / 形状 | 蓝宝石R 250・500μm | |
Z 轴驱动机构 ※荷重印加方向 | 驱动方式 | 步进马达驱动 |
驱动范围 | 20mm | |
驱动分解能 | 0.5μm | |
驱动速度( 测试时) | 0 ～20μm/s | |
驱动速度( 准备时) | 1mm/s | |
试料台XY轴移动机构 | 驱动方式 | 千分尺手动调节 |
移动范围 | ±6.5mm | |
Data输出方式 | USB | |
尺寸及重量 | W540×D520×H630 (37kg) 含显微镜 | |
电源 | AC100V ～240V | |
