MALCOM静止型回流炉装置RDT-250EC特点： |
节省空间的独立式高性能回流炉 |
通过采用矩阵加热器，可以针对每个区域调节加热强度 凭借较高的Δt 性能，该单元可以实现各种轮廓 |
使用触摸面板控制器时，只能从主机上进行操作 |
通过查看加热器配置，功耗已降低了约 50％ |
支持温度 400℃ |
MALCOM静止型回流炉装置RDT-250EC规格参数： |
対象基板尺寸 | 250W×330L㎜以下 高さ 保持面上下共15mm以下 |
装置尺寸 | 773W×863D×1417H mm |
加熱方式 | 上面 ：热风、远红外线辐射并用 下面：远红外线辐射(选项) |
冷却方式 | 外部气体（氮气或空气）通过导入（排气口连动） 附带冷却用流量调整阀门 |
電源 | 3相 200V 50/60Hz 10kVA |
外部气体 | 0.3～0.5MPa 100L/min（MAX） |
炉内氧浓度 （氮气使用时） | 100ppm |
基板托盘 | |
上面加熱 | 热风、远红外线加热器：7.2kW(約240W×30格) ※可对基准模组进行偏差设定 |
下面加熱(选项) | |
温度精度 | 常温～80℃ ：±3℃ 80℃～400℃：±2℃ |
測定温度 | 常温～400℃ |
測定点数 | 6点 |
窒素供給機能 | 流量调整阀门：100ℓ/min |
制御用専用ソフト | 対応OS：Windows 8.1/10 |
装置重量 | 約140㎏ |
