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空气分子污染物监测系统

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  • 公司名称北京杜克泰克科技有限公司
  • 品       牌杜克泰克
  • 型       号猎户座 310
  • 所  在  地北京市
  • 厂商性质经销商
  • 更新时间2024/6/11 14:28:46
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     北京杜克泰克科技有限公司,是一家专注于工业气体分析、工业过程控制、矿业勘察的科技公司,致力于为环境保护、能源电力、石油化工、冶金矿业、天然气、生物制药等行业提供工业过程参数测量仪器和解决方案。自公司成立以来一直给客户提供优质的产品,用的团队为客户服务,以良好的信誉赢得了客户的支持。

 

 

 

 

主营:温室气体分析,傅立叶红外气体分析,AMC空气分子污染物,溶解氧分析仪,碳化及氮化装置,脱氧脱气脱醇装置,浓密度计,光谱色谱仪,杀菌消毒净化装置,搅拌混合加药装置等产品
产地 国产
空气分子污染物监测系统具有实时显示数据曲线、报警、存储、趋势、历史曲线、分析等功能。
空气分子污染物监测系统 产品信息

猎户座3100系统:完善的空气分子污染物监测系统

实时监测空气分子污染(AMC )对于半导体生产过程极为重要。

快速监测、报警、极低浓度测量、宽测量区域、多气体的高灵敏响应等是半导体工业要求之一。深紫外光刻工艺特别关注氨、胺类、N-甲基毗咯烷酮NMP、酸类等浓度测量,当这些气体与化学放大光刻胶反生反应 时,将深深的影响半导体器件质量。


传统古老的方法多采用间接测量分析方法。包括撞击滤尘器、离子色谱、化学荧光法,这些方法分析速度太慢,操作过程太复杂,昂贵并且测量结果不精确。


CEAS (腔增强吸收光谱)---原理

基于CEAS(腔增强吸收光谱)技术的仪器原理图,使用近红外波段光进行高灵敏度吸收测量,测量腔室由一组高反射率多次反射镜片组成的柱状体构成,激光束经过固态校准器(FSR=2.00GHz)时会测量得到相对激光波长。为了保证清晰度,忽略了原本照射到左侧测量单元腔镜外的光束。




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