小径晶圆用3轴圆柱坐标型洁净机械手臂特点： |
超洁净无尘间用2轴圆柱坐标型洁净机械手臂SSCR3090S系列 |
适用于半导体生产设备内部，检测设备等小尺寸晶圆的搬运，通过优化机械手臂的空间尺寸， 有利于实现设备的小型化 |
机械手臂标准臂长：90mm |
同SSCR2090S-PM兼容，连杆式手臂，可以定制没有Z轴模块的机械手臂 |
配备动作监视器 |
控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式 |
全轴使用2相步进电机 |
S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆 |
晶圆固定方式：真空吸附式，下托式 |
手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质 |
可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供的手指 |
小径晶圆用3轴圆柱坐标型洁净机械手臂基本参数： |
使用环境 | 洁净间内的大气环境 |
手臂 | 单臂 |
到达距离 | 175mm (手臂第3关节中心到达距离) |
升降轴行程 | 150mm |
可搬运质量 | 0.1kg (只包含被搬运物体)(手臂第3关节处基准) |
如需详细产品参数 请联系我们
