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3轴机械臂小径晶圆用3轴圆柱坐标型洁净机械手臂

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具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称上海衡鹏企业发展有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地上海
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2024/6/12 8:15:17
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上海衡鹏企业发展有限公司成立于1999年11月,总部设于上海, 在深圳,香港,东京,河内设立有分公司。公司一直致力于引进技术、制造设备、精密检测仪器、关键生产材料,为中国电子制造企业服务。经过二十多年的发展,公司通过收购合并已发展为具有自主工业软件设计开发,高精密装置的设计及制造装配能力的跨国企业集团。服务于新能源汽车制造、半导体生产、5G通讯制造,航空航天,智慧医疗,自动化工业控制等细分行业。如今我们正不断努力,希望通过*高效的生产技术与设备,帮助您提高生产效率,降低能耗,保护环境。与您携手营造绿色地球,共创美好未来。
小径晶圆用3轴圆柱坐标型洁净机械手臂特点:超洁净无尘间用2轴圆柱坐标型洁净机械手臂SSCR3090S系列适用于半导体生产设备内部
3轴机械臂小径晶圆用3轴圆柱坐标型洁净机械手臂 产品信息

小径晶圆用3轴圆柱坐标型洁净机械手臂特点: 


超洁净无尘间用2轴圆柱坐标型洁净机械手臂SSCR3090S系列

适用于半导体生产设备内部,检测设备等小尺寸晶圆的搬运,通过优化机械手臂的空间尺寸,

有利于实现设备的小型化

机械手臂标准臂长:90mm

同SSCR2090S-PM兼容,连杆式手臂,可以定制没有Z轴模块的机械手臂

配备动作监视器

控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式

全轴使用2相步进电机

S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运半导体晶圆

晶圆固定方式:真空吸附式,下托式

手指材质:CFRP(碳纤维),铝合金,高纯度陶瓷等多种可选材质

可以针对被搬运物体种类,设备布局等要求提供的手指


小径晶圆用3轴圆柱坐标型洁净机械手臂基本参数


使用环境

洁净间内的大气环境

手臂

单臂

到达距离

175mm (手臂第3关节中心到达距离)

升降轴行程

150mm

可搬运质量

0.1kg (只包含被搬运物体)(手臂第3关节处基准)




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