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广电计量检测集团股份有限公司

3轴机械臂3轴圆柱坐标洁净晶圆搬运机械手臂

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具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称上海衡鹏企业发展有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地上海
  • 厂商性质代理商
  • 更新时间2024/6/13 8:46:52
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总部设于上海,系专业化、集成化的电子制造行业综合服务性企业。公司致力于引进国外制造设备、精密检测仪器、*生产材料,服务于国内电子制造行业,以助于国内企业提高产品品质,由制造型向创造型企业迈进。公司依托于中国国内电子制造业的高速发展,产品已涉及消费电子制造、汽车电子、半导体、LED以及光伏太阳能等行业领域,已在市场中建立起良好的信誉和广泛的商业资源。近年来,随着市场的日渐成熟和业务的不断发展,公司的业务已经遍布中国大陆以及港台市场,并形成较为完善的销售网络,深得广大电子产品制造商的青睐。本公司将紧跟信息时代的发展步伐,充分利用自身优势,不断提升自身的服务理念,致力于为客户提供更专业化、系统化的技术与服务,进一步建立稳固的销售网络,从而将公司发展成为中国电子行业发展的企业。 

电子元器件及配件,焊接材料,实验设备
3轴圆柱坐标洁净晶圆搬运机械手臂特点:超洁净无尘间用300mm晶圆对应MCR3000C系列适用于半导体生产设备内部
3轴机械臂3轴圆柱坐标洁净晶圆搬运机械手臂 产品信息

3轴圆柱坐标洁净晶圆搬运机械手臂特点: 


超洁净无尘间用300mm晶圆对应MCR3000C系列

适用于半导体生产设备内部,检测设备等的晶圆搬运

全轴采用AC伺服电机满足高速搬送的需求

比MHR系列具有更好的性价比优势

机械手臂标准臂长:160mm, 200mm

适应设备需求可以选择底座固定方式,或者法兰固定方式

配备动作监视器

控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式

全轴采用值编码器规格的AC伺服电机

S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运半导体晶圆

晶圆固定方式:真空吸附式,下托式,边缘夹持式,伯努利非接触式

手指材质:CFRP(碳纤维),铝合金,高纯度陶瓷等多种可选材质

可以针对被搬运物体种类,设备布局等要求提供的手指


3轴圆柱坐标洁净晶圆搬运机械手臂基本参数


使用环境

洁净间内的大气环境

手臂

单臂

到达距离

400mm (手臂第3关节中心到达距离)

升降轴行程

300mm / 400mm / 500mm

可搬运质量

4kg (手臂第3关节处基准)




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