美国 entegris 在线 PTFE 气体过滤器 MAX-1000
这些在线气体过滤器采用 由 PFA 结构和 316L 不锈钢外壳支撑的 PTFE 膜， 在超纯气体应用中提供 卓的越的颗粒过滤。
1.过滤面积大，过滤效率提高 3 倍，压降低，流量大
2.与当前过滤器相同的长度尺寸允许轻松实施，而无需更改气体面板或输送系统的设计。
3.过滤器使用寿命延长，比上一代长 3 倍
Wafergard® MAX-1000 在线 PTFE 气体过滤器应用
1.SiCl 4、GeCL 4和 POCl 3的过滤
2.石英玻璃应用
3.光纤应用
美国 entegris 在线 PTFE 气体过滤器 MAX-1000
这些在线气体过滤器采用 由 PFA 结构和 316L 不锈钢外壳支撑的 PTFE 膜， 在超纯气体应用中提供 卓的越的颗粒过滤。
1.过滤面积大，过滤效率提高 3 倍，压降低，流量大
2.与当前过滤器相同的长度尺寸允许轻松实施，而无需更改气体面板或输送系统的设计。
3.过滤器使用寿命延长，比上一代长 3 倍
Wafergard® MAX-1000 在线 PTFE 气体过滤器应用
1.SiCl 4、GeCL 4和 POCl 3的过滤
2.石英玻璃应用
3.光纤应用
