说明：
Quick Vision ULTRA
361 系列 — 超高精CNC 视像测量系统
特点
1、采用高精度气浮轴承线性导轨系统，从而将直线度误差减少到最小。
2、采用分辨率为0.01mm 的玻璃光栅尺，此玻璃光栅尺由位于地下11 米处的高精密工厂制造。
3、通过使用虚拟零度热膨胀的玻璃光栅尺，将温度变化对精度的影响减少到。
4、 使用有限元方法(Finite Element Method) 分析优化主机的机械结构。
5、 稳定的几何精度(如：每个轴的直线度和垂直度) 以降低热效应影响。
性能参数
型号ULTRA QV350-PRO
测量范围X 轴350mm
Y 轴350mm
Z 轴150mm
分辨率0.01μm
高灵敏度CCD 照相机黑白
精度*(20° C±0.2° C)
E1XY (0.3+L/1000)μm
E1Z (3+2L/1000)μm
[(1+2L/1000)μm: 10 - 60mm]
E2XY (0.5+2L/1000)μm
驱动速度 (X/Y/Z 轴) 100mm/sec
照明(PRL：可编程环行灯)
表面卤素灯
轮廓卤素灯
PRL 卤素灯
放大倍率变化系统可编程电动转盘
工作台玻璃尺寸438 x 509mm
工件负载40kg
尺寸 (W x D x H)** 890 x 1326 x 1650mm
重量** 1320kg
* 测量精度在以下条件下定义
可编程电动转盘：1X，物镜套装：5X
L：任意两点间距离(mm)
** 包括机器台架
