产品功能
在同一光路方向,对被测物体进行位移、偏摆角和俯仰角的同步测量。
系统特点
*光导性激光器,体积小,重量轻。
*干涉镜集成在激光器里,光路调节极其简单。
*反射镜个性化设计,广泛应用于多种场合。
*三轴数据同步精度:20ns。
*所有3轴实时数据测量,无延时。
*使用高精度温度传感器进行数据补偿。
技术参数
型号ZLM900 | 参数 |
位移测量范围 | 5 m |
位移测量分辨率 | 20 pm |
位移测量精度 | ±0.1μm/m |
角度测量范围 | 使用角锥反射镜:±12.5° 使用平面反射镜:±1.5角分(建议距离小于2m) |
角度测量分辨率(位移分辨率为0.1nm时) | 0.002角秒 |
激光束间距 | 12 mm |
波长 | 632.8nm |
稳频精度 | 2x10^-8 |
预热时长 | 10-20分钟 |
工作温度 | 15-30℃ |
激光器含基座尺寸 | 202x137x72 mm |
反射镜尺寸 | 45x45x20 mm |
数据处理器尺寸 | 450x450x150 mm |
激光器含基座重量 | 1.9 kg |
反射镜重量 | 80 g |
数据处理器重量 | 8 kg |
数据接口 | RS232C、USB |
激光器与数据处理器之间线缆长度 | 3 m (可选10 m) |
工作电源 | 100-240VAC,47-63Hz |
激光安全等级 | 2M,II |
系统构成
1.三维激光器及安装底座 一套
2.三维反射镜 一个
3.三轴数据处理器 一套
4.环境补偿器 一套
系统示意图
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