8865SC13美国BIRD超稳定的油二电RF终止负载用于半导体精度应用的油冷RF负载是独立的高功率50 OHM同轴传输线终止,不需要外部电源或其他设备。
这些同轴负荷电阻提供了在非辐射条件下进行测试和调整发射器的准确,可靠和实际上非反射终止。美国BIRD超稳定的油二电RF终止负载找广联买。
8865SC13美国BIRD超稳定的油二电RF终止负载以实现最大的过程可重复性和一致性,现代等离子体应用需要精确的RF功率调节和控制。确保准确且可重复的RF电源到腔室的关键组件是RF发电机的校准,调节和监视。现在,Bird提供超稳的低VSWR负载,可快速,精确地测量发电机功率输出时,与精确的功率传感器(例如Bird 4020系列)一起使用。 8865SC13不仅提供较低的VSWR,而且在临界频率下VSWR中的VSWR总变化小于0.1 dB。由于校准不同的时间长度,不需要负载热身或重复性风险。这可以大程度地减少与此校准相关的错误,并控制更关键的过程变量之一。
8865SC13美国BIRD超稳定的油二电RF终止负载技术参数:
电力等级1 kW频率范围和VSWRDC至28 MHz @ 1.1最大。
VSWR小于1.05:1阻抗ω50(名义)VSWR稳定性<0.1 dB,稳定频率下的额定功率从0到100%稳定频率13.56 MHz±10 kHz连接器“ QC”类型LC(女性) - 通常提供互锁热开关 - 可选通常关闭。在236°C(457°F)处打开热开关等级115 VAC,10 A
230 VAC,5 A温度范围操作: +5至+40°C(+41至+104°F)
存储: - 40至+45°C( - 40至40至+113°F)高度1520 m(5000英尺)湿度95%的无调最大。冷却方法油介电和对流电流方面19.5“ x 7.5” x 13.2“
496 x 184 x 334毫米重量32磅。
14.5公斤结束黑色环氧树脂
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