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广电计量检测集团股份有限公司

ADPC 302

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  • 公司名称深圳市蓝钛科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地深圳市
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2025/5/21 8:41:09
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蓝钛科技的产品涉及汽车、钢铁、电子、塑料、橡胶、管材、建材、鞋类、皮革、纺织等各大领域,服务对象覆盖中国各企业以及相关行业科研院所、检测机构等等。深圳市蓝钛科技有限公司是一家成立于2015年的试验仪器设备解决方案专业供应商。我们专注于为客户提供材料分析及品质控制的高品质设备及技术支持服务。我们的产品主要来自于自主研发、制造,以及与国内外优秀供应商合作,长期为广大客户提供优质的产品及服务。目前公司专营和代理电子试验机、高频疲劳试验机等力学检测设备,德国普发真空机、真空系统等真空系列产品,普锐斯、徕卡系列金相检测设备,EMCOTEST硬度计系列专用设备等。同时公司还代理相关实验室耗材如标样、砂纸、爱德龙工业润滑油等实验室配套消耗物料。公司汇集众多行业精英,主创团队均拥有试验检测行业十年以上经验,期待与您的精诚合作!
ADPC 302 是一款在半导体领域的用于粒子污染监测的过程内污染管理系统。
ADPC 302 产品信息

高效粒子监测


亚微米粒子会造成可能导致相当大产量损失的缺陷。即使是测量值为 0.1 μm 的最小粒子,也可能会损坏半导体芯片的结构。创新的 ADPC 302 可测量晶片传送载体内的粒子数量(前开式晶圆传送盒 FOUP,前开式装运箱 FOSB)。全自动的工艺从载体表面(包括门)对粒子进行定位和计数。得益于的晶圆,该系统可用于成批生产和研发分析。主要应用是载体特征化、清洗策略优化和清洗质量检查。与传统湿法相比较(液体颗粒计数器),ADPC 的干式工艺(干式粒子计数器)显示出了明显的优势。干式工艺的主要优势在于粒子测量是自动的。它是在生产过程中集成的,因此不再需要生产周期之外的时间。有了全自动测量,该过程无需额外的操作员。测试时间只需 7分钟,意味着 ADPC 302 的速度是传统系统的 4 倍。可在 1 个小时内测试 8 个运输箱。


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