产品简介
OWT-200才用PHYS*技术，对透明、半透明、不透明几乎所有的材料的厚度，TTV，LTV,弯曲度，平整
度进行无接触测量，其对透明、半透明材料的高精度精确测量的性价比在同类测试仪器中是*的。
特征
■无接触无损伤测量
■高精确度及重复性
■测量材料范围广，透明、半透明、不透明几乎所有材料的
厚度/弯曲度/平整度/LTV/TTV
■抗干扰强，稳定性好
■强大的工控机控制和大屏幕显示
■一体化设计操作更方便，系统稳定
■为晶圆硅片关键生产工艺提供精确的无接触测量
■超高测试速度
技术指标
■测试尺寸：50mm-200mm.
■厚度测试范围：1000 um，可扩展到1700 um
■ 厚度测试精度：+/-0.1um
■ 厚度重复性精度：0.050um
■ TTV 测试精度: +/-0.1um
■ TTV重复性精度: 0.01um
■ Warp/Bow精度: 0.2um
■ Warp/Bow重复度: 0.5um
■测量时间: <100秒
■ 材料：透明、半透明、不透明几乎所有的材料
■ 尺寸: 560X650X400mm
■ 电源：220V 50HZ 300W
主要客户：欧洲、美洲、中国台湾等地区蓝宝石生产企业
详情咨询：
北京合能阳光新能源技术有限公司
北京市通州区工业开发区光华路16号
： -104 -608
：肖
：xiaozongyong@henergysolar.com
公司：http://www.HenergySolar.com
