OX400-5-A-T-E-H氧化锆氧分析仪
OX400-5-N-T-E-H、OX400-5-A-T-E-H、OX400-5-N-R-E-H、OX400-3-A-T-E-H
一、特性：
1、技术特性：
重复性：±1%F.S.（10，100，1000 ppm，1%，10%或100%）
线性：±2%F.S.；±3%F.S.（0~100ppm或更低）
响应时间：90%响应，10秒内（0~1%或更高），30秒内（小于0~1%）
漂移：±2%F.S./周
2、使用寿命长，响应速度快
由于使用了横河电机的新型薄膜沉积技术，传感器的寿命周期提高了三倍
3、圆柱形传感器设计便于置换被测气体，确保高速响应
4、高性能和高可靠性
即使在低氧浓度下，仍具有*的精度和线性
5、在不同应用中，可选择泵式或抽提采样方式
6、内置功能和多种自诊断功能
自带多选择器，自动量程，特定量程以及泵开/关功能
提供多种自诊断功能，以检测故障，如加热器温度错误，温度传感器断偶和传感器电阻值错误
7、出众的维护性
可现场更换传感器
小型轻量，易于安装
二、产品功能简介：
横河电机推出的氧分析仪OX400，是公司在该技术的长期经验积累和优秀业绩基础上研发出来的。
低浓度氧化锆氧分析仪OX400的氧化锆传感器中采用了新型薄膜沉积技术，在氧化锆元素和铂层间建立了分子联接。这样不仅预防剥离，还可以减小传感器尺寸，确保高速响应和长寿命。
低浓度氧化锆氧分析仪OX400可用于控制和监视各种半导体应用，并控制环境，空气泄漏入惰性气体及其他过程。
- 用于半导体扩散炉和烘干炉，以及LCD制造工艺中的氧气浓度控制
- 用于控制锡焊炉气流和回流炉中气体的氧气浓度，以及电子制造中使用的手套箱和气体生产工艺中氧气浓度的测量
- 测量氧气浓度，防止粉尘运输中粉尘爆炸
三、技术规格：
| 测量对象 | 惰性气体中的氧气浓度 （易燃性气体、二氧化硅、腐蚀性气体或液体（包括水蒸气）除外） | ||||||||
| 测量系统 | 氧化锆系统 | ||||||||
| 采样方法 | 泵式，抽提式等 | ||||||||
| 样气条件 | 流速: 200 ± 25ml/min（仅用于传感器） 温度: 0~50℃（无结露） 湿度: 无结露 压力: 0~300PaG zui大容许压力: 30kPaG | ||||||||
| 测量量程 | 0-10ppm O2至0-100vol% O2 | ||||||||
| 输出量程 |
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| 模拟输出 | 2路输出， 一次: 4～20mA DC（zui大负载电阻: 550Ω） 二次: 可选为0~1，0~5，0~10V DC（负载电阻: 10kΩ或更大） | ||||||||
| 接点输出 |
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| 接点输入 | 1点: 采样气体吸入泵的远程ON/OFF | ||||||||
| 自诊断 |
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| 串口通信 | RS-232，38400 bps | ||||||||
| 标定方法 | （1）3点: 10ppm，1000ppm，空气，（2）2点: 可设定为零点气和量程气标定，（3）1点，（4）空气标定 | ||||||||
| 暖机时间 | 20分以内 | ||||||||
| 电源 | 100 - 120V AC/220 - 240V AC，50/60Hz | ||||||||
| 功耗 | 100～120V AC，200VA zui大，220～240V AC，400 VA zui大 | ||||||||
| 尺寸 | 213 （W） x 132 （H） x 约375 （D） mm | ||||||||
| 质量 | 约5kg | ||||||||
| 管线连接 | 气体入口: Rc1/4或1/4NPT内螺纹 气体出口: Rc1/4或1/4NPT内螺纹 | ||||||||
| 环境条件 |
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| 符合的安全标准 和EMC标准 |
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四、特性：
| 重复性 | ±1%F.S.（10，100，1000 ppm，1%，10%或100%） |
| 线性 | ±2%F.S. ±3%F.S.（0~100ppm或更低） |
| 响应时间 | 90%响应 10秒内（0~1%或更高） 30秒内（小于0~1%） |
| 漂移 | ±2%F.S./周 |
