工业有机废气治理文献
本文通过对半导体工业的有机废气净化工艺及设备的分析，总结了各种净化工艺特点和应用的范围。在扩建工程中选择了合理的净化工艺及设备。经过一年的生产验证，有机废气达到，与现有废气处理设备相比，节省了、降了运行，效果明显。词：有机废气；碳吸附；
有机废气净化工艺及设备的比较目前应用较广泛的有机废气净化工艺有活性炭吸附法、热破坏法、生物膜法等。
可回收的有机物种类烃类苯、甲苯、二甲苯、苯、正已烷、庚烷、石脑油、烃类苯、甲苯、二甲苯、苯、正已烷、庚烷、石脑油、已烷等。卤烃三氯乙烯、全氯乙烯、三氯乙烷、二氯甲烷、三氯苯、三氯甲烷、四氯化碳等。酮类丙酮、丁酮MEK、甲基异丁酮、已酮等。酯类 乙酸丁酯 等 醚类 二氧杂己酯类乙酸丁酯、油酸等。醚类二氧杂己烷、（四氢呋喃）、糠醛等。醇类甲醇、乙醇、异丙醇、丁醇等。醇类甲醇、乙醇、异丙醇、丁醇等。聚合用单体氯乙烯、丙烯酸、丙烯酸酯、苯乙烯、醋酸乙烯等。
（二）、吸附﹑脱附行程短，速度快；脱附﹑再生耗能。ACF对有机气体吸附量比颗粒状活性炭（GAC）大几倍几十倍，对无机气体也有好的吸附能力，并能保持较的吸附脱附速度和较长的使用寿命。如用 水蒸气加热6-10分钟，即可脱附，耐热性能好，在惰性气体中耐温1000℃以上，在空气中着火点达500℃以上。 （三）、形状可变，使用方便。由于活性碳纤维可以做成毡式，所以换起来非常方便，不会对体造成危害。 （四）、可根据需要生产出具有性能的ACF；强度好，不会造成二次污染。
