充氮厌氧烘箱于硅片（或晶片、晶圆片、圆片）进行清洗之后干燥硅片工艺.
PHH-系列充氮厌氧烘箱特点:
1）全周氩焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304＃不锈钢电热产生器，防机台本身产生微尘；
2）耐高温，可以达到和工作场同样的地洁净等级；
技术参数：
1． 型号:PHH-1008
2．工作尺寸（mm）: W1400×H1300×D600 （宽*高*深）
3．外形尺寸（mm）: W1990×H1850×D810 （宽*高*深）
4． 送风方式：强制送风循环。
5． 温度范围：RT＋10℃～300℃。
6． 温度波动：<±0.5℃。
7． 温度均匀：±1.5% 。
依测规范：测SENSOR置放点，离内箱壁内尺寸1／10处。
8．温控装置：日本富士P.I.D智能温控仪表， LED数字显示及设定、P.I.D自动演算、时间定时。
温控输出：SSR输出，欧姆龙继电器，固态继电器。
测温装置：1支PT100 铂 电阻温度传感装置，测温精确。
定时装置：HS48S-99.99定时仪表。
9．内室材料：采用 1.0mm厚度SUS不锈钢钢板板金折弯加工，周身做氩弧焊满焊，密闭，氮气不泄露；外箱优质SUS不锈钢数字加工而成，美观大方 。
10．保温材质：硅酸铝。
11．特质复合式SUS304＃不锈钢电热产生器。
12．保护装置：超温保护，欠相保护,过载保护器，蜂鸣器，开门氮气自动中断保护
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