ANT95-L系列纳米平移台
1.实现大行程纳米定位
2.高分辨率(1纳米),重复定位精度(75纳米),定位精度(250纳米)
3.1纳米的位置稳定性
4.抗爬行十字交叉滚珠轴承
5.高动态特性
相关文档下载
ANT95-XY系列双轴纳米平移台
1.结构紧凑25mm*25mm或50mm*50mm行程
2.实现大行程纳米定位
3.高分辨率(1纳米),重复定位精度(75纳米),定位精度(250纳米)
4.1纳米的位置稳定性
5.抗爬行十字交叉滚珠轴承
6.高动态特性
相关文档下载
-L-Z系列纳米垂直平移台
1.大行程实现纳米定位
2.高分辨率(2纳米),重复定位精度(75纳米),定位精度(300纳米)
3.2纳米的位置稳定性
4.抗爬行十字交叉滚珠轴承
5.高动态特性
相关文档下载
-R系列直驱旋转台
1.高分辨率(0.01角秒)
2.高性能
3.的跳动指标
4.的定位性能
5.高动态特性
6.多轴结构