设备主要特点 ◆用工业微机对工艺时间,温度,气体流量,阀门动作,反应室压力实现全自动控制. ◆采用进口压力控制系统,闭环系统,稳定性高. ◆采用进口耐腐蚀不锈钢管件,阀门,确保气路气密性. ◆具有完善的报警功能及安全互锁装置. ◆具有超高温报警及欠温报警,MFC报警,反应室压力报警,RF报警,高压空气压力报警,N2压力报警.水流报警等。 类型 ◆工艺过程*不受外界环境干扰,工艺质量*控;有毒害尾气定向收集、集中处理排放;更加安全、环保。 ◆装片数量: 250片/每炉管 ◆净化台洁净度:100级(10000级厂房) ◆自动化程度:自动控制温度及工艺过程。主控温控模块采用日本导电或同类品牌,可在达到±0.5℃的控制精度。 ◆送取片方式:悬臂式推拉舟。我公司推拉系统采用光杠传动系统,本系统比丝杠传动系统运行更平稳,避免了推拉舟长时间运行后由于丝杠变形引起的推拉舟的震动;防止突然断电时,丝杠抱死,拖不出炉膛。 设备主要技术指标 ◆ 温度使用范围:150~600℃ ◆ 极限真空度: 优于1Pa ◆ 压力调节范围:13~300Pa 连续可调,闭环控制 ◆ 射频电源: 400KHz连续可调 ◆ 温区长度(150~400℃):1000mm ◆ 温区稳定性(400℃): ±2℃ ◆ 温区稳定性(<400℃): ±3℃ ◆ 温度梯度: 0~30℃/1000mm可调 ◆ 淀积速率: 30nm/min ◆ 深层折射率: 1.9~2.2 ◆ zui大可控升温速度:15℃/min ◆ zui大降温速度:5℃/min |
PECVD设备 产品信息