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高温化学气相沉积系统

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产品型号PT-CVD-1700-60*300-F3

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更新时间：2023-02-18 09:16:56浏览次数：112次

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郑州科佳电炉有限公司

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产品简介

产品介绍：该高温化学气相沉积系统的工作温度为300℃至1600℃，配备真空泵，气体混合装置

详细介绍

产品介绍：
该高温化学气相沉积系统的工作温度为300℃至1600℃，配备真空泵，气体混合装置。采用*的温度控制系统，高温精度，出色的气体流量精度，易于操作，出色的隔热效果和温度均匀性。主要用于大学，科研机构和生产企业进行气相沉积相关的实验与生产。

技术参数：

产品名称		高温化学气相沉积系统
产品型号		PT-CVD-1700-60*300-F3
加热部分	显示	LED
	温度	1700℃
	工作温度	≤1600℃
	升温速率	建议: 0~15℃/min (max. 20℃/min)
	加温温区	300mm
	加热元件	硅钼棒
	热电偶	B 型
	控温精度	±1℃
	炉管尺寸	60 x 900mm
	炉管尺寸	刚玉管
	温度控制	PID自动控制
	升温速率	30段可编程
	电压	220V, 50 Hz, 单相功率： 4KW
	工作压力	0.02MPa
真空部分	真空泵总成（旋转叶片泵+扩散泵）包括KF25、KF50适配器、用于真空泵组的波纹管和带轮子的移动柜。	冷态极限真空6.67*10-3Pa。
	真空测量	复合真空计。
	真空法兰	带阀和针的不锈钢真空法兰
质量流量计（3条气体路线Ar、H2、CH4）	流量范围	(20, 30, 50, 100, 200, 300, 500) SCCM
	精确度	±1.5 % F.S.
	响应时间	≦10sec
	工作压力差范围	0.1~0.5MPa
	耐压性	3MPa
	工作环境温度	5~45℃
	输入电压信号	0 V ~ +5.00 V
	输出电压信号	0 V ~ +5.00 V

1、我公司对所供设备提供质保一年保修服务（易损件除外），在保修期内因设备质量原因造成的设备损坏或故障，均予以免费维修。保修期满后，仍提供终身的、优质的维修服务。
2、在设备使用过程中如遇故障的，我公司将尽快做出处理方案，确保设备正常运行。
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