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电子厂洁净室的除尘率要求
阅读：33 发布时间：2025/4/25
电子厂洁净室的除尘率要求主要取决于其洁净度等级(如百级、千级、万级、十万级等)，而不同等级对空气中颗粒物的容许浓度有严格规定。以下是关键标准及要求：
1. 洁净度等级与颗粒物限制
- 百级洁净室：每立方米空气中≥0.5μm的粒子数≤3,500个，≥5μm的粒子数≤293个。
- 千级洁净室：≥0.5μm的粒子数≤35,200个/m³，≥5μm的粒子数≤2,930个/m³。
- 万级洁净室：≥0.5μm的粒子数≤352,000个/m³，≥5μm的粒子数≤2,930个/m³。
- 十万级洁净室：≥0.5μm的粒子数≤3,500,000个/m³，≥5μm的粒子数≤20,000个/m³。
2. 除尘率要求
- 高效过滤器(HEPA/ULPA)：
洁净室通常要求末端过滤器对≥0.3μm颗粒的过滤效率≥99.97%(HEPA)或≥99.999%(ULPA)，具体选择取决于洁净度等级。
- 整体系统效率：
通过初效、中效、高效三级过滤组合，综合除尘率需确保达到对应洁净度等级的颗粒物限值。例如，十万级洁净室的送风系统需将初始空气中的颗粒物浓度降低至标准值的1/10,000以下。
3. 其他影响因素
- 气流组织：单向流(层流)洁净室的除尘效率高于非单向流(乱流)，需通过合理的气流设计减少死角。
- 正压控制：洁净区与非洁净区的压差需≥10Pa，防止外部污染物进入。
- 静电控制：电子厂洁净室需维持湿度40%-60%，以减少静电吸附颗粒。
4. 实际应用建议
- 对于高精密电子制造(如半导体)，通常要求千级或更高洁净度，除尘率需接近100%。
- 动态环境下(如人员操作时)，需通过增加换气次数(如十万级换气15-20次/小时)维持除尘效果。
总结
电子厂洁净室的除尘率并非固定百分比，而是通过过滤系统、气流设计和环境控制共同实现对应洁净度等级的颗粒物限值。具体需根据生产工艺要求(如集成电路制程需百级，普通封装可接受万级)选择匹配的净化方案。
