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臭氧发生器灭菌效果主要取决于以下6个因素:
臭氧发生器在气相条件中，臭氧杀灭微生物的效果，取决这几个主要因素：
①臭氧阀值浓度，即当臭氧空气浓度在达到此浓度要求时，才能具有杀灭微生物的能力；
②微生物种类；
③灭菌处理时间；
④臭氧分布方式；
⑤空间内的温度和湿度条件；
⑥室内墙面、顶棚、地板及其他装饰材料的还原性影响等。
气相条件下，臭氧对微生物的杀灭效果是有区别的，经实验证明，臭氧对人、动物的致病菌、病毒具有很强的溶菌性杀灭作用。
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