当前位置：北京杰瑞恒达科技有限公司>>实验室检测>>电子薄膜应力分布测试仪

电子薄膜应力分布测试仪

返回列表页

参考价

面议

具体成交价以合同协议为准

产品型号HD-65

品牌

厂商性质生产商

所在地北京市

在线询价收藏产品查看联系电话

联系方式：王慧查看联系方式

更新时间：2022-07-12 14:53:44浏览次数：669次

联系我时，请告知来自环保在线

产品分类 品牌分类

  实验室检测

全部产品列表

暂无信息

北京杰瑞恒达科技有限公司

经营模式：生产厂家

商铺产品：102条

所在地区：北京北京市

联系人：王慧（销售）

询价 给他留言

产品简介

电子薄膜应力分布测试仪产品主要应用在微电子、光电子生产线上和科研、教学等领域Si、Ge、GaAs等半导体基片及电子薄膜应力分布、光学零件面形和平整度面形、基片曲率

半径测量测试。该仪器总测量点数多, 能给出全场面型分布结果, 适合于微电子生产线上产品质量的快速检验和微电子生产工艺研究。

仪器基于干涉计量的全场测试原理, 可实时观测面型的分布, 迅速了解被测样品的形貌及应力

详细介绍

产品名称:电子薄膜应力分布测试仪
规格型号:HD-65

电子薄膜应力分布测试仪产品主要应用在微电子、光电子生产线上和科研、教学等领域Si、Ge、GaAs等半导体基片及电子薄膜应力分布、光学零件面形和平整度面形、基片曲率

半径测量测试。该仪器总测量点数多, 能给出全场面型分布结果, 适合于微电子生产线上产品质量的快速检验和微电子生产工艺研究。

仪器基于干涉计量的全场测试原理, 可实时观测面型的分布, 迅速了解被测样品的形貌及应力集中位置, 及时淘汰早期失效产品。

产品特点

*的错位相移技术

计算机自动条纹处理

测试过程全自动

*的曲面补偿测试原理

主要技术指标

zui大样品尺寸	≤100mm (4英寸)
曲率范围	\|R\|≥5米
测试精度	5%
单片测量时间	3分钟/片
结果类型	面形、曲率半径、应力分布、公式表示、数据表格
图形显示功能	三维立体显示、二维伪彩色显示、单截面曲线显示
电源	AC 220V±10%, 50Hz±5%
zui大功耗	100W
外型尺寸(L×W×H)	285mm×680mm×450mm
重量	36kg