德国INFICON薄膜沉积控制器
INFICON是仪器，关键传感器技术和过程控制软件的提供商，这些产品可复杂工业真空工艺的生产率和质量。这些分析，测量和控制产品对于空调/制冷和汽车制造中的气体泄漏检测。对于光学和平面显示器，太阳能电池和工业真空镀膜应用中的半导体和薄膜镀膜的复杂制造，它们对于设备制造商和终用户。我们基于真空的工艺的其他用户包括生命科学，研究，航空航天，包装，热处理，激光切割和许多其他工业工艺。我们还利用我们在真空技术方面的知识来提供的，
INFICON薄膜沉积控制器：
IC6薄膜沉积控制器
XTC / 3薄膜沉积控制器
Cygnus®2薄膜沉积控制器
SQC-310薄膜沉积控制器
产品应用说明：
INFICON薄膜沉积控制器IC6沉积控制器允许使用QCM传感器控制沉积过程的速率。从基本的功能到大的功能，INFICON均可提供沉积控制器以满足您的需求。市场的 NFICON 薄膜沉积控制器、监测器和 QCM 测量仪能够以*的测量速度和精度控制复杂过程的沉积率和厚度。高级软件和逻辑 I/O 功能使我们的薄膜沉积控制器/QCM 测量仪能够*集成到真空系统中，从而实现自动过程控制。控制不那么复杂的过程时，可使用 INFICON 经济型精密控制器、监测器和 QCM 测量仪，它们的薄膜测量精度比传统技术高出 100 倍。
典型的 QCM 系统包括石英晶体 (感测装置)、晶体支架 (传感器，用于固定晶体并实现与晶体的电气连接)、用于驱动晶体的振荡器 (对于 ModeLock 测量仪，则为 XIU)、控制器或监测器 (用于读取沉积率和厚度并存储过程参数)。INFICON 既可提供完整的 QCM 系统，又可提供为研究应用设计的单个部件。
IC6薄膜沉积控制器在INFICON薄膜沉积控制器成熟的性能基础上，增添了更多的功能，可帮助您实现沉积过程的价值。IC6使用我们的ModeLock频率测量系统，提供稳定，逐步的速度和厚度测量，额定分辨率可达每1/10秒0.00433Å/ s，是行业中的。IC6具有其他石英晶体控制器拟的性能，品质和功能，确认您的过程可重复性。
主要技术参数：
INFICON ModeLock技术获得，稳定的速率和厚度测量分辨率，即使在速率的情况下
Auto Z技术通过自动测定沉积材料的Z比值，可厚度测量的精度
支持多六个来源同时共沉积
彩色TFT LCD显示屏使用户很容易看到过程的进展状况
100ms样本速率下频率范围为+/- 0.0035 Hz
U数据存储功能可存储屏幕截图，配方存储和数据记录
强大的I / O能够充分利用其可集成的简单或复杂的系统(使用可扩展输入(28)和输出(24继电器，14 TTL输出)，并充分利用逻辑功能(100个逻辑语句)
6个标准DAC输出和另6个可选输出的源控制，速率或厚度监控
可容纳多50个过程，每个过程200层，这些过程关联到一起，总共可容纳10,000层。
多路传感器可平均分配为8个传感器
4米XIU选件能够在大型系统中使用替代的真空传感器电缆
可选以太网通信
可选的IC6配置编辑器软件(件号781-620-G1)-基于LabVIEW®的Windows®软件，允许离线创建和编辑IC6配置文件，并将IC / 5配置文件转换为IC6格式。
合RoHS标准
光学镀膜
(1)工具/密度= 100/1，基础频率= 6兆赫兹
(2)随过程变化;数值表示典型的精度
(3)每种类型的配置
(4)IC6有6个DAC输出标准，其余再选择再添加6个。可将12个中的任何一个配置为来源控制电压或记录器输出，但可同时控制的来源数量为6
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