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SIMCO离子风棒5635

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产品型号5635

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更新时间：2022-06-07 15:29:39浏览次数：574次

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广思科技（深圳）有限公司

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产品简介

简介
5635型MP离子风棒，是对应用在先端半导体制造工程等100nm以下的微小型颗料除静电器。
特点：

详细介绍

简介

5635型MP离子风棒，是对应用在先端半导体制造工程等100nm以下的微小型颗料除静电器。

特点：

Ø 采用在世界上的电极材料单晶硅的优势，避免超低颗料特性的电极材料的重金属污染的风险。

Ø 通过*的MP（脉冲调制）方式，可以有效的发挥离子除电性能。

Ø 平衡的电位，即使是在距100mm的距离也可用使用的特性及静电杆长且离子平衡度好。

Ø 通过智能控制电路，可自动管理离子发生状态及离子平衡度。

Ø 1/4圈可以拆卸更换电极，有助于减少维护工时。

Ø 电位波动小的MP方式的特性，简化了组装。另外，电位波动小可以保持离子平衡度在管理的基准内。

Ø 设定了适合半导体前工序EFEM用的除静电棒长度。

Ø 内置24V DC驱动控制器的小巧紧湊型设计。

Ø 可用于高层次网络。

产品规格

输入电压	24V DC + / -10％
输出电压	zui大可调至约13.5kv PP
安装距离	100毫米?1000毫米（无空气净化）
离子生成方式	电晕放电法 PM（脉冲变调）方式变动频率　1 ～　33 Hz
离子平衡度	自动平衡调节方法 <+/-10V内离子风棒直下根据位置的不同会有差异<+/-10v （600 mm距離）
电极	单晶硅电极可更换
吹气	清洁干燥的空气或氮气
zui大气压力	310Kpa
臭氧产生量	<0.05PPM（24时总值）
信号输出	报警IO 电极输出
尺寸	高78mm宽34mmt长（如下值） 450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750 / 1900/2050/2200/2350Mm
外观	ABS树脂