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通用性流量计产品

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产品型号S49 32/MT

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所在地北京市

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更新时间：2018-05-14 09:00:00浏览次数：2306次

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S49系列

S48系列

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北京堀场汇博隆精密仪器有限公司

经营模式：生产厂家

商铺产品：6条

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产品简介

专业质量流量计/质量流量控制器研发厂家-堀场汇博隆
产品适用于各种气体，精度高，零漂小，无需矫正可任意角度安装。
公司：
公司：www.horibametron.com

详细介绍

特点及主要应用领域

气体质量流量控制器（流量计）Mass gas flow controller（meter）缩写为MFC(MFM)）是对气体的质量流量进行精密测量和控制的设备。

S49 32/MT 质量流量控制器(流量计)特点：

☆耐压高及适用于真空条件下工作。低压降。工作压力范围宽，气体流量不因温度、压力的变化而变化。

☆主体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用VITON®、聚四氟乙烯等。适用于各种耐腐蚀性气体。

☆具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、工作稳定可靠。

☆可任意位置安装。电气操作控制显示，使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合。

☆配合MT-60 系列流量积算仪，可对气体的瞬时流量和累积流量进行精确计量。

S49 32/MT 质量流量控制器(流量计)主要应用领域：

半导体制造行业的气体流量控制；

分析仪器设备的气体计量与控制；

各种形式的真空镀膜设备；

环境检测与分析设备；

化工、石化、食品、冶金、光纤熔炼等行业气体流量检测和控制；

特种材料表面处理装置与燃烧控制；

混气配气系统和泄露探测系统等。

2. S49系列质量流量控制器(流量计)型号

S49 32/MT 系列质量流量控制器(流量计)，S49为质量流量控制器(流量计)产品，32/MT为本公司此产品设计序列号。

质量流量计用于对气体的质量流量精确测量计量；

质量流量控制器(流量计)不但具有质量流量计的测量计量功能，还具有自动控制气体的质量流量功能。

型式批准证书：2011F215-11

执行Q/CYHMT001-2011企业标准

许可证编号：京制01050063号

3.主要技术指标

质量流量控制器(流量计)流量出厂通常用氮气(N2)标定。

质量流量单位为：mL/min（毫升/分钟）；(SCCM行业标准)

L/min （升/分钟）。 (SLM行业标准)

标准状态为：温度----273.15K（0℃）；

气压----101325Pa(760mmHg)

F.S(Full Scale):表示满量程值

表1 S49 32/MT质量流量控制器(流量计)技术指标

编号	项目	S49 32/MT
1	流量规格	（5,10,30,50,100,200,300,500）mL/min （1,2,3,5,10）L/min
2	调节阀类型	电磁调节阀
3	调节阀静止状态	常闭
4	准确度	±1.5%F.S
5	线性	±1.5%F.S
6	重复精度	±0.2%F.S
7	响应时间	≤8秒（T95）
8	工作压差范围	（50～300）kPa; （100～300）kPa(10L/min)
9	耐压	3MPa; 10MPa
10	工作环境温度	（5～45）℃
11	材料	不锈钢316L
12	标准密封材料	Viton®， EPDM，或其他由用户
13	漏率	1×10-8Pa.m3/s
14	接头	Φ6mm～Φ10mm, 1/4″Swagelok。1/4″VCR。或其他由用户
15	输入输出信号	（0～＋5.00）V (输入阻抗≥100KΩ,负载输出电流能力≤3mA)
16	供电电源	±15V（±5%）（＋15V 50mA, －15V 200mA）
17	外形尺寸mm	130（宽）×102（高）×28（厚）
18	重量kg	0．8

工作原理

图一 热式质量流量控制器(流量计)的工作原理

质量流量控制器(流量计)由质量流量传感器，分流器通道，流量控制调节阀和放大控制电路等部件组成。

本流量控制器利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导分布效应而制成，即热分布式流量计（Thermal Profile Flowmeter）。

采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，可以不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值信号去驱动控制调节阀门，通过闭环，去控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。

分流器在主通道和毛细管间产生层流，控制输出的流量检测电压与流过通道的流量成比例。

与之配套使用的MT-50 系列流量显示仪备有±15V直流电源，3 位半数字电压表，设定电位器，外设、内设转换和三位阀控开关，调零等。为质量流量计或控制器提供工作电源，设定控制和显示等功能。控制器的设定输入、流量输出信号均为电压形式，量程范围为0～+5V。质量流量控制器(流量计)与MT-50 流量显示仪连接后的工作原理如图1 所示。

控制器一般与MT-50，MT-51 或与之相兼容的流量显示仪连接。

如与MT-51 数字式流量显示仪连接，则构成数字式流量显示控制。该数字式流量显示仪提供RS-232C接口，或RS-485 接口，Modbus协议，无需附加A/D,D/A 转换卡，而实现与计算机网络电气连接、以及与组态软件的连接。

如S49 32/MT 流量控制器直接与计算机连接,则需要用户自行提供电源和A/D,D/A 转换卡等。

控制操作一般在流量显示仪上进行。当设定与“内”设相连时，由流量显示仪上的设定电位器控制流量。当与“外”设相连时，由用户另外提供的外部（0～+5）V 电压控制流量。

在流量显示仪的显示面板上设置有三位阀门控制开关，当置“关闭”位时，阀门关闭；当置“清洗”位时，阀门开到zui大，以便气路清洗，或临时作为流量计使用；当置于“阀控”时，则按设定电位器的数值自动控制流量。（参考流量显示仪的使用说明书）

注意：在“清洗”时，实际气流将超过满量程若干倍，此时流量显示值不准确，还可能出现流量增大显示反而减小的现象，这是由热式质量流量计的特性决定，属于正常现象。对不希望出现大气流“清洗”的场合，用户应自行限制。。

不*长时间置“清洗”位，此时阀门开度zui大，而利用流量控制器*做流量计或开启阀使用。因为此时电磁阀、线路等将会流过很大的电流，因而加速其热老化损坏。

5. 安装和接线

5.1 S49 32/MT 系列质量流量控制器(流量计)外形及安装尺寸如图二所示

图二 S49 32/MT 系列质量流量控制器(流量计)外形及安装尺寸

注意：图中标明的高度，是未加电缆插头的高度。

5.2 入口和出口气路接头

可以根据用户的不同需求，选用两种类型：

1. 双卡套（Swagelok）；a.Φ6mm; b.Φ3; c. 1/4″;d.或其他。

2. VCR. a. Φ1/4″;b. Φ3/8″.

连接方法如图三，图四所示:

图三双卡套接头的连接方法

图四 VCR 接头的连接方法

质量流量控制器(流量计)与气路的连接，可以根据不同的要求，选用不同的管件，如金属管，塑料管等等。 S49 32/MT 系列质量流量计和流量控制器的缺省连接形式为双卡套，接管尺寸为Φ6。

5.3 质量流量控制器(流量计)的接线

图五 DB15/F 孔型插座接口定义图

S49 32/MT 系列质量流量控制器(流量计)的接线插头，考虑到其兼容性，主要采用DB-15/F 孔型插座，其接线方法如图五所示。

信号0V,电源地（0V）在流量控制器内是连在一起的，其与0V(E0大电流，即阀0V线)在流量控制器内并没有连接。在直流电源处，±15V电源0V，+5号0V应连在一起，并与流量控制来的“信号0V”,“电源地（0V）”，“0V(E0大电流)”三条线相连。

“大地（Earth）”是外壳接地线，其与阀流量计金属底座是通过第8脚（孔型插座）在内部连在一起的，其应与控制电缆金属屏蔽网连接，以实现屏蔽一体。应在直流电源处采取有效屏蔽、隔离等措施，防止干扰信号串入流量计系统。

将“大地（Earth）”线与直流供电电源0V直接或通过大电容实现一点接地（应避免存在的多处接地，防止接地回路形成），形成零、地等电位，也是有效抵抗干扰的方法之一。应避免金属外壳等由于安装原因带有较强的干扰源，防止可能形成的强的地电流回路，而烧毁流量控制器内部线路！！！应掌握一点接地原则，采用绝缘、隔离等方法，防止接地回路形成。

关键词：质量流量控制器流量计流量控制器流量积算仪控制器