氧气是重要的工业气体，广泛应用于钢铁、有色冶金、化工、炉窑节能、环保(污水处理、垃圾焚烧等)、玻璃、造纸、医疗等行业。二十世纪九十年代锂分子筛吸附剂出现，变压吸附空分制氧迅速发展成为一种低成本制氧新技术并开始得到广泛应用。
真空变压吸附制氧(VPSA-O2) 经鼓风机鼓风输送低压的原料空气(25-39kPa)，净化除去粉尘后进入VPSA-O2系统吸附塔。吸附塔为两塔或三塔体系，吸附塔产品气为氧气。空气中的氮气、二氧化碳、水蒸气被吸附达到设定控制值后，由于吸附压力较低，先通过常压解吸，再经过真空泵抽真空达到一定真空度，使吸附塔内吸附剂杂质*脱附再生。由两塔或三塔组成的吸附分离制氧系统，在PLC或DCS (数据控制系统)的控制下，程序控制阀循环切换完成连续制氧。该流程通常称真空变压吸附制氧流程(VPSA-O2)。
技术特点及优势：
1.原料气适应性好
采用高效一氧化碳吸附剂PU-1，可从氮或甲烷含量高的原料气中分离出高纯度一氧化碳。
2.产品一氧化碳成本低
装置工艺先进，产品收率高、原料用量少、配套设备负荷小，生产成本低。
3.一氧化碳质量高
产品一氧化碳纯度高(zui高可达99.99%)、杂质含量小，对下游生产非常有利，可带来明显的经济效益。
4.可对用户原有装置进行改造
在不增加操作费用的前提下，可使国内原有变压吸附装置的一氧化碳产量和质量大幅度提高。
