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MEMS 二氧化氮气体传感器利用MEMS工艺在Si基 衬底上制作微热板，所使用的气敏材料是在清洁空气中电 导率较低的金属氧化物半导体材料。当环境空气中有被检 测气体存在时传感器电导率发生变化，该气体的浓度越 高，传感器的电导率就越高。使用简单的电路即可将电导 率的变化转换为与该气体浓度相对应的输出信号。
MEMS 二氧化氮气体传感器
GM-102B 二氧化氮气体传感器
产品描述
MEMS 二氧化氮气体传感器利用MEMS工艺在Si基 衬底上制作微热板，所使用的气敏材料是清洁空气中电 导率较低的金属氧化物半导体材料。当环境空气中有被检测气体存在时传感器电导率发生变化，该气体的浓度越高，传感器的电导率就越高。使用简单的电路即可将电导率的变化转换为与该气体浓度相对应的输出信号。
传感器特点
本品采用MEMS工艺，结构坚固，对二氧化氮灵敏度高；具有尺寸小、功耗低、灵敏度高、响应恢复快、驱动电路简单、稳定性好、寿命长等优点。
主要应用
便携式与固定式二氧化氮检测仪。
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