针对废气处理设备的燃烧-水洗系统 
 
概述 
 
CT-BW使用点对点废气减排系统是应用于光伏、半导体以及其
它相关产业的化学气相沉积和刻蚀等领域的一种高性能系统。
随着新工艺引进了具有高腐蚀性气体且逐渐增加气体负荷量，
废气减排技术需要进一步改善。 

 
CT-BW不仅满足此要求，且符合安全标准。CT-BW具有许
多优点，例如，针对化学气相沉积、蚀刻制程的废气（尤其是
全氟化合物、各类固体、气态反应的副产物）有着高处理效率
（DRE）。 
 
该系统的设计是极可靠的，即使在严苛的制程条件下仍具有资
源节约性能。 
 
独立的功能部件（例如，燃烧头、燃烧腔、水洗腔、废气进
口、冷却系统）可以根据各种应用而灵活地安装。 
 
我们延长维护周期和zui大化正常运行时间的秘诀是─客户量身
定制的废气减排系统。

工艺技术 
 
? 每个模块的废气总流量可达1,500slm 
? 可高效处理沉积和蚀刻气体 
? 经改良的减尘处理 
? 监控紧急旁路稀释 
? 更大的反应腔容量，以提供更佳的处理效率

CT-BW废气处理设备-水洗燃烧系统流程示意图：

特点和优势 
 
? 高达99.99%的处理效率（DRE） 
? 模块化 
 - 一个电器柜可连接高达四组独立模块 
 - 模块间彼此隔离 
 - 每个模块都有其独立的安全链（传感器，探针等） 
? 每个介质只需要一个Hook-up连接点，可多达4个模块 
? 客户量身定制的备用配置 
? 低运行成本，根据制程来控制燃烧头性能 
? 改良的抗腐蚀反应腔盖 
? 上至下燃烧器设计，降低燃烧头喷嘴的阻塞问题 
? 反应腔中的水幕，避免腐蚀和阻塞问题 
? 由于经优化的内部设计，可使维护简易且快速 
? 自动化的废气进口清洁装置，增加MTBPM 
? 图形化的使用介面并附解说文字，使故障排除更为容易 
? Ethernet或RS485的监控接口 
? 量身定制的废气减排设置，以满足各种工艺需求 
? 燃料气的选择性高，如：液化天然气、城市燃气、煤气、氢气、丙烷、丁烷等 
? 符合以下的安全标准与规范： 
 - SEMI S2-0706 
 - SEMI S8-0308 
 - SEMI S14-0704 
 - NFPA79: 2007 
 - EN / ISO 14121-1: 2007 
 - EN / ISO 13849-1: 2008 
 - EN60204-1: 2006 
 - MD2006/EC/42-Annex I: 2006 
? 德国制造 

尺寸：

技术数据：