① 陶瓷过滤器。陶瓷过滤器是使用比较广泛的一种过滤器。它采用刚性的微孔材料做滤芯，如陶瓷、碳化硅、刚玉、砂芯、不锈钢粉末等。为了防止过大的气流吹坏陶瓷杯，过大的气流使灰尘黏附在过滤杯上造成堵塞，必须在陶瓷杯外加防护罩。为了减少无效容积，过滤器底部做成锥形，同时增加一个分路接头，一方面把灰尘吹走，另一方面由于气体不断流动而加速气体交换，减少滞后时间。设计时候还应考虑陶瓷杯的更换及清洗方便。
② 化学过滤器。化学过滤器是指采用化学试剂对样品中有害组分或水分进行吸收或吸附，从而产生过滤效果的一种过滤器。根据采用化学试剂的种类化学过滤器可以分为干式化学过滤器和湿式化学过滤器两类。
③ 编织纤维过滤器。在灰尘、机械杂质小于10-20μm时，可采用编织过滤器。它是一种比较通用、便于维护的过滤器、它对水相当敏感，若样品中有水或接近饱和的水蒸气则不能使用，否则容易造成堵塞。选用纤维要根据工艺流程特点和样品含尘的性质来决定。
④ 纸质过滤器。它是一种适用于含悬浮粉尘（如炭黑等）或焦油，而其他部件难以处理达到要求的一种成本低廉的过滤器。它的纸质是多孔纤维，比普通纸稍厚，类似于滤纸。可过滤0.3μm的微粒，具有90%以上的捕集效率。它的压降很小，约为98pa，若样气很脏，用一段时间后孔隙会被堵塞，可采用双路并行结构切换使用，以便连续运行，不中断取样。
自清扫式过滤器。这是一种用得较多的预处理部件。不同使用对象，其材料除不锈钢粉末冶金外还可用铜，特殊的地方用特种合金粉末冶金做滤芯。根据目前的制作加工技术，做成的滤芯可以过滤1μm的微粒。含杂质的样品从左侧进入过滤器后分成两路，一路经滤芯过滤后的清洁样品进入下一个预处理器或者直接送入分析器进行分析。另一路将滤芯壁上滞留的粉尘、机械杂质、油污、水雾等杂质通过气样本身的吹扫作用吹扫入底部而带出过滤器。从而达到自清扫的目的。由于这种过滤器能够自身清扫滤芯，因此，对它的维护量很小。
